公开(公告)号：FR3012237B1

公开(公告)日：2017-03-03

申请号：FR1360292

申请日：2013-10-22

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： LAMY YANN ,  MERLE ALAIN ,  PARAT GUY-MICHEL ,  TRIA ASSIA

IPC: H01L23/48 ,  G06K19/073 ,  H01L21/02

公开(公告)号：FR3012237A1

公开(公告)日：2015-04-24

申请号：FR1360292

申请日：2013-10-22

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： LAMY YANN ,  MERLE ALAIN ,  PARAT GUY-MICHEL ,  TRIA ASSIA

IPC: G06K19/073

Abstract: Puce électronique (100) comportant : - un circuit électronique (108) disposé au niveau d'une face avant (104) d'un substrat (102) ; - un élément capacitif (115) disposé au niveau d'une face arrière (106) du substrat et en regard du circuit électronique, et relié électriquement au circuit électronique par une première (116, 118a) et une deuxième (102, 118b) liaisons électriques, la première liaison électrique comprenant un premier via électriquement conducteur (116) traversant le substrat, le circuit électronique étant apte à mesurer la valeur de la capacité électrique de l'élément capacitif entre la première et la deuxième liaisons électriques, et/ou - au moins un deuxième via ou une tranchée (110) traversant la face arrière du substrat et une partie de l'épaisseur du substrat, et disposé en regard du circuit électronique tel qu'une paroi de fond du deuxième via ou de la tranchée soit espacée du circuit électronique d'une distance non nulle.