场效应晶体管和包括多个场效应晶体管的气体检测器

    公开(公告)号:CN105474006A

    公开(公告)日:2016-04-06

    申请号:CN201480031221.3

    申请日:2014-05-26

    Applicant: CSIR公司

    CPC classification number: G01N27/4141 G01N27/4146

    Abstract: 一种场效应晶体管,包括源,源包括之间具有空隙的多个电极突起。漏包括多个电极突起,所述漏的每个电极突起位于源的电极突起之间的一个空隙中,由此形成交替的漏和源突起的源-漏电极连接区域。栅与源-漏电极区域间隔开,由此在栅和源-漏电极连接区域之间形成沟道,其中栅与所述沟道平行。多个纳米结构位于源-漏电极区域中,由此在源-漏电极连接区域中的漏和源的电极突起之间形成电连接。本发明还包括气体检测器,气体检测器包括位于衬底上的如上所述的多个场效应晶体管。

    场效应晶体管和包括多个场效应晶体管的气体检测器

    公开(公告)号:CN105474006B

    公开(公告)日:2017-10-27

    申请号:CN201480031221.3

    申请日:2014-05-26

    Applicant: CSIR公司

    CPC classification number: G01N27/4141 G01N27/4146

    Abstract: 一种场效应晶体管,包括源,源包括之间具有空隙的多个电极突起。漏包括多个电极突起,所述漏的每个电极突起位于源的电极突起之间的一个空隙中,由此形成交替的漏和源突起的源‑漏电极连接区域。栅与源‑漏电极区域间隔开,由此在栅和源‑漏电极连接区域之间形成沟道,其中栅与所述沟道平行。多个纳米结构位于源‑漏电极区域中,由此在源‑漏电极连接区域中的漏和源的电极突起之间形成电连接。本发明还包括气体检测器,气体检测器包括位于衬底上的如上所述的多个场效应晶体管。

Patent Agency Ranking