公开(公告)号：EP1417462A4

公开(公告)日：2011-11-09

申请号：EP02752594

申请日：2002-07-25

Applicant: CYMER INC

Inventor： HAAS STEVEN ,  SANDSTROM RICHARD L ,  HOFMANN THOMAS ,  ERSHOV ALEXANDER I

IPC: G01J3/18 ,  G01J1/42 ,  G01J3/02 ,  G01J3/12 ,  G01J3/22 ,  G01J3/26 ,  G01J3/28 ,  G01J3/36 ,  G01J9/02

CPC classification number: G01J3/26 ,  G01J1/4257 ,  G01J3/02 ,  G01J3/027 ,  G01J3/12 ,  G01J3/1809 ,  G01J3/22 ,  G01J3/28 ,  G01J9/02