Abstract:
Es ist eine Spiralfeder (2) für mechanische Uhrwerke offenbart. Die Spiralfeder (2) weist eine mit der Schwingungsebene der Spiralfeder (2) zusammenfallende Spiralfederebene (E) und eine senkrecht zu der Spiralfederebene (E), durch das Schwingungszentrum der Spiralfeder (2) verlaufende Spiralfederachse (A) auf. Ein Kern (4) der Spiralfeder (2) besteht aus polykristallinem Silizium, wobei der Kern (4) der Spiralfeder (2) in einer Richtung parallel zur Spiralfederachse (A) aus mehreren Schichten aus polykristallinem Silizium (4 1 , 4 2 , 4 3 , …, 4 N ) aufgebaut ist und eine erste, äußere Schicht (5) aus Siliziumdioxid ist.
Abstract:
Es ist ein mikromechanisches Bauteil (1) und ein Verfahren zu dessen Herstellung offenbart. Das mikromechanische Bauteil (1) hat mehrere Kontaktflächen (3), die mit einer Gegenkontaktfläche (4) eines weiteren mikromechanischen Bauteils (5) zusammenwirken, ausgebildet. Jede Kontaktfläche (3) des mikromechanischen Bauteils (1) hat mehrere erste Erhöhungen (11) und erste Vertiefungen (21) ausgebildet. Die ersten Erhöhungen (11) und ersten Vertiefungen (21) der Kontaktfläche (3) selbst haben mehrere zweite Erhöhungen (12) und zweite Vertiefungen (22) ausgebildet, wobei die Anzahl und Größe der zweiten Vertiefungen (22) und der ersten Erhöhungen (11) derart gewählt ist, dass eine Summe aus Abflachungen (10) der zweiten Erhöhungen (12) kleiner ist, als eine maximal mögliche effektive Kontaktfläche (30).
Abstract:
Es ist eine Spiralfeder (20) für ein mechanisches Uhrwerk offenbart. Der Quer- schnitt (24) der Spiralfeder (20) umfasst entlang der Höhe (h) der Spiralfeder (20) mindestens zwei übereinander liegende Bereiche (26 1 , …, 26 n ), i=1, …, n, aus ei- nem polykristallinen Silizium. Jeder Bereich (26 i ) hat mindestens zwei Anker (28 i,j ) durch Aufwachsen von Kristallen des Siliziumdioxids (34) in den Grenzbereich (30) ausgebildet, wobei jeder Anker (28 i,j ) eine Rauheit (R i,j ), j=1, …, m, hat. In jedem Bereich (26 i ) ist mindestens ein Anker (28 i,j ) angeordnet, der dieselbe Rauheit wie ein anderer Anker (28 i-1,j' , 28 i+1,j' ) eines benachbarten Bereichs (26 i ) hat. Es ist zu- dem ein Verfahren zur Herstellung mindestens eines Funktionselements (8) für me- chanische Uhrwerke offenbart. Silizium-Partikel bzw. Silizium-Kristalle (1, 36) wer- den über den Querschnitt (24) der Funktionselemente (8, 20) hinsichtlich der Größe und der Orientierung der Silizium-Partikel bzw. Silizium-Kristalle (1, 36) homogen verteilt.
Abstract:
Die Erfindung bezieht sich auf ein Funktionselement (1, 101, 201, 205, 206) für ein Schwingsystem eines Uhrwerks. Das Ausgangsmaterial des Schwingsystems ist mit einer Beschichtung versehen, die die Gleitfähigheit und Oberflächenhärte des Funktionselements (1, 101, 201, 205, 206) verbessert.
Abstract:
The invention relates to a spiral spring (2) for mechanical clockworks. The spiral spring (2) has a spiral spring plane (E), which coincides with the oscillation plane of the spiral spring (2), and a spiral spring axis (A), which extends perpendicularly to the spiral spring plane (E) and through the oscillation center of the spiral spring (2). A core (4) of the spiral spring (2) is made of polycrystalline silicon, wherein the core (4) of the spiral spring (2) is constructed of a plurality of layers made of polycrystalline silicon (4 1 , 4 2 , 4 3 , …, 4 N ) in a direction parallel to the spiral spring axis (A) and a first, outer layer (5) is made of silicon dioxide.
Abstract:
Es ist ein mechanisches Schwingsystem (1) für Uhren, insbesondere Armbanduhren und ein Verfahren zum Herstellen eines Schwingsystems (1) offenbart. Das Schwingsystem (1) besitzt eine Unruhfeder (2, 2a) und ein Unruhrad (3, 3a) mit einer Welle zur Befestigung der Unruhfeder (2, 2a). Die Unruhfeder (2, 2a) besteht aus einem Silizium-Werkstoff, mit einer Korngröße im Bereich zwischen 10 nm und 50000 nm. Ein Windungsquerschnitt der Unruhfeder (2, 2a) beträgt 0,001 mm 2 bis 0,3 mm 2 .