公开(公告)号：CN101153797B

公开(公告)日：2010-06-02

申请号：CN200710142557.9

申请日：2007-08-29

Applicant: DE&T株式会社

Inventor： 宋旺圭

IPC: G01B21/00 ,  G01B21/04

Abstract: 本发明涉及一种平板显示装置的检查装置，尤其是在平板显示装置的主玻璃的定中心过程中、通过机械方式的定中心技术可在不受外部环境影响的情况下进行精密的玻璃定中心的平板显示面板的玻璃定中心装置。其包括：工作台，具有为了对玻璃移送装置移送的玻璃进行定中心而形成在一侧的固定头、以及在玻璃紧贴在固定头上后在玻璃的上下左右精密移动的移动头；移动头驱动部，用于驱动各个移动头；移动距离检测装置，检测通过移动头驱动部而精密移动的移动头的移动距离并输出检测信号；以及控制器，控制整个玻璃定中心装置，接收移动距离检测装置输出的检测信号后算出玻璃的规格信息，通过算出的规格信息判断玻璃的尺寸误差并输出。

公开(公告)号：CN101153797A

公开(公告)日：2008-04-02

申请号：CN200710142557.9

申请日：2007-08-29

Applicant: DE&T株式会社

Inventor： 宋旺圭

IPC: G01B21/00 ,  G01B21/04

Abstract: 本发明涉及一种平板显示装置的检查装置，尤其是在平板显示装置的主玻璃的定中心过程中、通过机械方式的定中心技术可在不受外部环境影响的情况下进行精密的玻璃定中心的平板显示面板的玻璃定中心装置。其包括：工作台，具有为了对玻璃移送装置移送的玻璃进行定中心而形成在一侧的固定头、以及在玻璃紧贴在固定头上后在玻璃的上下左右精密移动的移动头；移动头驱动部，用于驱动各个移动头；移动距离检测装置，检测通过移动头驱动部而精密移动的移动头的移动距离并输出检测信号；以及控制器，控制整个玻璃定中心装置，接收移动距离检测装置输出的检测信号后算出玻璃的规格信息，通过算出的规格信息判断玻璃的尺寸误差并输出。

公开(公告)号：CN101727016A

公开(公告)日：2010-06-09

申请号：CN200910165289.1

申请日：2009-08-14

Applicant: DE&T株式会社

Inventor： 宋旺圭

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明公开一种用于输送曝光装置的中间掩模的机器人夹持器，其最大限度降低中间掩模被放在轮上时受到的振动和冲击，感应是否安装了中间掩模。该夹持器设置在移动部，移动部安装在曝光装置上并沿X、Y、Z轴方向和旋转方向运动，该夹持器形成有用于支撑中间掩模侧面边缘的一对侧面支撑件，以便往返于盒和轮之间时输送中间掩模，该夹持器还包括用于支撑中间掩模上面的一对上面支撑件，当中间掩模设置在夹持器上时，在与中间掩模相对的一侧面上设置有感应是否安装了中间掩模的非接触式传感器。从而防止在将中间掩模放在轮的过程中中间掩模的位置由于振动和冲击微细移动，从而中间掩模被放在轮上时被更加正确配置，并提高加工精度，降低不良率。