公开(公告)号：BRPI1006447A2

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：BRPI1006447

申请日：2010-03-18

Applicant: DELFMEMS

Inventor： SEGUENI KARIM ,  LORPHELIN NICOLAS

IPC: H01H59/00

公开(公告)号：CA2755052A1

公开(公告)日：2010-09-23

申请号：CA2755052

申请日：2010-03-18

Applicant: DELFMEMS

Inventor： SEGUENI KARIM ,  LORPHELIN NICOLAS

IPC: H01H59/00

Abstract: The MEMS structure comprises: a flexible membrane (6), which has a main longitudinal axis (6a) defining a longitudinal direction (X), at least one pillar (3, 3') under the flexible membrane (6), electric lowering actuation means (7) that are adapted to bend down the flexible membrane (6) into a down forced state electric raising actuation means (8) that are adapted to bend up the flexible membrane (6) into an up forced state. The electric lowering actuation means (7) or the electric raising actuation means (8) comprise an actuation area (7c or 8c), that extends under a part of the membrane (6) and that is adapted to exert pulling forces on the membrane (6) simultaneously on both sides of the said at least one pillar (3) in the longitudinal direction (X).

公开(公告)号：ES2388126T3

公开(公告)日：2012-10-09

申请号：ES09370007

申请日：2009-03-20

Applicant: DELFMEMS

Inventor： SEGUENI KARIM ,  LORPHELIN NICOLAS

IPC: H01H59/00

Abstract: Una estructura de tipo MEMS que comprende una membrana (6) flexible, que tiene un eje (6a) longitudinal principal que define una dirección (X) longitudinal, al menos un pilar (3, 3') debajo de la membrana (6) flexible, medios (7) de accionamiento eléctrico de bajada que están adaptados para doblar hacia abajo la membrana (6) flexible a un estado forzado hacia abajo, medios (8) de accionamiento eléctrico de subida que están adaptados para doblar hacia arriba la membrana (6) flexible a un estado forzado hacia arriba, y en el que los medios (7) de accionamiento eléctrico de bajada o los medios (8) de accionamiento eléctrico de subida comprenden una zona (7c u 8c) de accionamiento, que se extiende debajo de una parte de la membrana (6), caracterizada porque la zona (7c u 8c) de accionamiento está adaptada para ejercer fuerzas de empuje sobre la membrana (6) simultáneamente en ambos lados de dicho al menos un pilar (3) en la dirección (X) longitudinal.

公开(公告)号：SG173814A1

公开(公告)日：2011-09-29

申请号：SG2011060621

申请日：2010-03-18

Applicant: DELFMEMS

Inventor： SEGUENI KARIM ,  LORPHELIN NICOLAS

Abstract: The MEMS structure comprises: - a flexible membrane (6), which has a main longitudinal axis (6a) defining a longitudinal direction (X), - at least one pillar (3, 3') under the flexible membrane (6), - electric lowering actuation means (7) that are adapted to bend down the flexible membrane (6) into a down forced state - electric raising actuation means (8) that are adapted to bend up the flexible membrane (6) into an up forced state. The electric lowering actuation means (7) or the electric raising actuation means (8) comprise an actuation area (7c or 8c), that extends under a part of the membrane (6) and that is adapted to exert pulling forces on the membrane (6) on both sides of the said at least one pillar (3) in the longitudinal direction (X).

公开(公告)号：UA102728C2

公开(公告)日：2013-08-12

申请号：UAA201111172

申请日：2010-03-18

Applicant: DELFMEMS

Inventor： SEGUENI KARIM ,  LORPHELIN NICOLAS

IPC: H01H59/00

Abstract: МЭМС (MEMS)-структура, содержащаягибкуюмембрану (6), котораясостоитизосновнойпродольнойоси (6а), котораяопределяетпродольноенаправление (X), поменьшеймере, однуопору (3, 3 ') подгибкоймембраной (6), электрическийопускающийактивационныймеханизм (7), способныйсгибатьгибкуюмембрану (6) внижнеефорсированноеположение, электрическийподнимающийактивационныймеханизм (8), способныйсгибатьмембрану (6) вверхнеефорсированноеположение. Электрическийопускающийактивационныймеханизм (7) илиэлектрическийподнимающийактивационныймеханизм (8) содержатактивационнуюобласть (7сили 8с), котораяпроходитподчастьюмембраны (6) испособнасоздаватьсилынатяжения, которыевоздействуютнамембрану (6) одновременнопообестороныотуказанной, покрайнеймере, однойопоры (3) впродольномнаправлении (X).

公开(公告)号：DK2230679T3

公开(公告)日：2012-07-30

申请号：DK09370007

申请日：2009-03-20

Applicant: DELFMEMS

Inventor： SEGUENI KARIM ,  LORPHELIN NICOLAS

IPC: H01H59/00

公开(公告)号：FR3031098A1

公开(公告)日：2016-07-01

申请号：FR1463357

申请日：2014-12-26

Applicant: DELFMEMS

Inventor： LORPHELIN NICOLAS ,  SEGUENI KARIM

IPC: B81B5/00 ,  H01H1/00

Abstract: Le dispositif microélectromécanique ou nanoélectromécanique (1) comorte une membrane (3), qui est mobile en translation le long d'au moins un premier axe de translation (XX') sensiblement parallèle au substrat (2), et dans au moins une première direction (X1) le long de ce premier axe de translation (XX'). La face inférieure (3a) de la membrane (3) comporte d'une part une partie active (31), qui est positionnée au droit d'une électrode d'actionnement (5) sous-jacente, et dont la zone d'actionnement électrostatique (31a) la plus proche de l'électrode d'actionnement (5) est située dans un premier plan de référence (P1) lorsque la membrane n'est pas actionnée, et d'autre part au moins un décrochement (30), qui s'étend en direction du substrat jusqu'à un deuxième plan (P2) plus proche de électrode d'actionnement (5) que ledit plan de référence (P1). Pour au moins une partie des positions en translation de la membrane (3), ledit décrochement (30) comporte au moins une première portion (30a) qui n'est pas positionnée au droit de l'électrode d'actionnement (5) et qui est proche d'au moins une première portion (50a) de la tranche (50) de l'électrode d'actionnement (5). Le dispositif comporte (a) (figure 2) une couche diélectrique (7), qui recouvre au moins ladite première portion (50a) de tranche (50) de l'électrode d'actionnement (5), et/ou (b) (figure 22) une couche diélectrique, qui recouvre la face inférieure (3a) de la membrane (3) au moins dans une zone correspondant à ladite première portion (30a) du décrochement (30).

公开(公告)号：AU2010225137B2

公开(公告)日：2014-07-10

申请号：AU2010225137

申请日：2010-03-18

Applicant: DELFMEMS

Inventor： SEGUENI KARIM ,  LORPHELIN NICOLAS

IPC: H01H59/00

Abstract: The MEMS structure comprises: a flexible membrane (6), which has a main longitudinal axis (6a) defining a longitudinal direction (X), at least one pillar (3, 3') under the flexible membrane (6), electric lowering actuation means (7) that are adapted to bend down the flexible membrane (6) into a down forced state electric raising actuation means (8) that are adapted to bend up the flexible membrane (6) into an up forced state. The electric lowering actuation means (7) or the electric raising actuation means (8) comprise an actuation area (7c or 8c), that extends under a part of the membrane (6) and that is adapted to exert pulling forces on the membrane (6) simultaneously on both sides of the said at least one pillar (3) in the longitudinal direction (X).