MEMS-Mikrophonanordnung und Verfahren zum Betreiben der MEMS-Mikrophonanordnung

    公开(公告)号:DE112012006343T5

    公开(公告)日:2015-01-15

    申请号:DE112012006343

    申请日:2012-05-09

    Applicant: EPCOS AG

    Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft eine MEMS-Mikrophonanordnung (1), die umfasst: ein MEMS-Wandlerelement (2), das eine Gegenelektrodenplatte (17) und eine Membran (18), die in Bezug auf die Gegenelektrodenplatte (17) verlagerbar ist, enthält; einen Vorspannungsgenerator (6), der dafür ausgelegt ist, eine Vorgleichspannung bereitzustellen, die zwischen die Membran (18) und die Gegenelektrodenplatte (17) angelegt werden kann; einen Verstärker (7) zum Empfangen eines elektrischen Signals von dem MEMS-Wandlerelement (2) und zum Bereitstellen eines Ausgangssignals, wobei der Verstärker (7) dafür ausgelegt ist, das elektrische Signal von dem MEMS-Wandlerelement (2) in Übereinstimmung mit einer Verstärker-Verstärkungsfaktoreinstellung zu verstärken; und einen Prozessor (8), der dafür ausgelegt ist, beim Einschalten der Mikrophonanordnung (1) eine Kalibrierungsroutine, die Informationen bezüglich der Vorgleichspannung und/oder der Verstärker-Verstärkungsfaktoreinstellung bestimmt, auszuführen. Ferner betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zum Betreiben der MEMS-Mikrophonanordnung.

    Mikrofon mit automatischer Vorspannungsregelung

    公开(公告)号:DE112012006158T5

    公开(公告)日:2014-12-04

    申请号:DE112012006158

    申请日:2012-03-30

    Applicant: EPCOS AG

    Inventor: ANDERSEN TROELS

    Abstract: Es wird ein Mikrofon mit einer automatischen Regelung der Vorspannung für eine verbesserte Signalqualität angegeben. Das Mikrofon umfasst eine Vorspannungsregelschaltung, die den Kondensator des Mikrofons mit zwei oder mehr Vorspannungen beaufschlagen kann. Die Vorspannungsregelschaltung erhöht die Spannung bei niedriger Durchbruchrate und erniedrigt die Spannung bei hoher Durchbruchrate.

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