公开(公告)号：CN102597312B

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：CN201080051642.4

申请日：2010-11-16

Applicant: FEI公司

Inventor： C.D.钱德勒 ,  S.兰多尔夫 ,  G.哈蒂根

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/44 ,  C23F4/04 ,  H01L21/3065

CPC classification number: C23C16/047 ,  C23C16/4485 ,  C23C16/45523 ,  C23C16/45561 ,  H01J2237/006

Abstract: 从多种气体源进入到束系统的样品腔中的气体流由用于每种气体源的循环阀控制，所述样品腔中的气体压力由阀打开的相对时间以及阀的上游压力确定。设置在真空腔内部的气体阀允许在截止气体方面快速响应。在一些优选的实施方式中，前体气体由容器中的固态或液态材料被供应，所述容器在使用时仍保持在所述真空系统外部并且被容易地连接到所述气体注入系统或从所述气体注入系统断开而不存在显著的泄漏。

公开(公告)号：CN102597312A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201080051642.4

申请日：2010-11-16

Applicant: FEI公司

Inventor： C.D.钱德勒 ,  S.兰多尔夫 ,  G.哈蒂根

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/44 ,  C23F4/04 ,  H01L21/3065

CPC classification number: C23C16/047 ,  C23C16/4485 ,  C23C16/45523 ,  C23C16/45561 ,  H01J2237/006

Abstract: 从多种气体源进入到束系统的样品腔中的气体流由用于每种气体源的循环阀控制，所述样品腔中的气体压力由阀打开的相对时间以及阀的上游压力确定。设置在真空腔内部的气体阀允许在截止气体方面快速响应。在一些优选的实施方式中，前体气体由容器中的固态或液态材料被供应，所述容器在使用时仍保持在所述真空系统外部并且被容易地连接到所述气体注入系统或从所述气体注入系统断开而不存在显著的泄漏。