公开(公告)号：CN114165669B

公开(公告)日：2024-04-02

申请号：CN202111061060.0

申请日：2021-09-10

Applicant: 塞莫费雪科学(不来梅)有限公司 ,  FEI公司

Inventor： A·马卡洛夫 ,  W·布拉舒恩 ,  K·福特 ,  K·刘

IPC: F16L51/03

Abstract: 一种用于将需要振动隔离的基于真空的分析系统连接在一起的联接器，其包括：具有纵向轴线的管状连接器，所述连接器包括用于连接到第一分析系统的第一端和减少振动传递并允许所述第一分析系统在横向于所述连接器的所述纵向轴线的方向上移位的柔性部分；以及与所述柔性部分纵向分离的密封件，其用于所述连接器与第二分析系统之间的真空密封；其中所述连接器含有用于在所述第一分析系统与所述第二分析系统之间传递离子的离子光学器件。

公开(公告)号：CN114165669A

公开(公告)日：2022-03-11

申请号：CN202111061060.0

申请日：2021-09-10

Applicant: 塞莫费雪科学(不来梅)有限公司 ,  FEI公司

Inventor： A·马卡洛夫 ,  W·布拉舒恩 ,  K·福特 ,  K·刘

IPC: F16L51/03

Abstract: 一种用于将需要振动隔离的基于真空的分析系统连接在一起的联接器，其包括：具有纵向轴线的管状连接器，所述连接器包括用于连接到第一分析系统的第一端和减少振动传递并允许所述第一分析系统在横向于所述连接器的所述纵向轴线的方向上移位的柔性部分；以及与所述柔性部分纵向分离的密封件，其用于所述连接器与第二分析系统之间的真空密封；其中所述连接器含有用于在所述第一分析系统与所述第二分析系统之间传递离子的离子光学器件。

公开(公告)号：CN102651295A

公开(公告)日：2012-08-29

申请号：CN201210049064.1

申请日：2012-02-20

Applicant: FEI公司

Inventor： K·刘 ,  G·A·施温

IPC: H01J1/304 ,  H01J37/073

CPC classification number: H01J23/06 ,  H01J37/063 ,  H01J37/073 ,  H01J2237/022

Abstract: 公开一种用于诸如透射电子显微镜(TEM)、扫描透射电子显微镜(STEM)或扫描电子显微镜(SEM)之类的聚焦电子束系统的冷场发射(CFE)电子源。源采用CFE尖头后面的发射器包围电极，它与抽取器电极结合来定义封闭体积，该体积能够通过电子碰撞解吸(EID)以及来自定位在发射器包围电极与抽取器电极之间的被加热灯丝的辐射加热来彻底清洁。抽取器电极可具有沉孔，沉孔限制在抽取器所生成的后向散射电子到达源和枪的尚未通过EID清洁的部分。在冷场发射之前的发射器包围电极和抽取器电极的预先清洁实质改进源发射稳定性和频率噪声特性，从而实现对TEM、STEM和SEM的应用是充分的时间间隔的源操作。