적층체, 적층체의 제조 방법, 반도체 디바이스, 및 반도체 디바이스의 제조 방법
    1.
    发明公开
    적층체, 적층체의 제조 방법, 반도체 디바이스, 및 반도체 디바이스의 제조 방법 审中-公开
    层压板,制造层压板的方法,制造半导体器件的方法

    公开(公告)号:KR20180030710A

    公开(公告)日:2018-03-23

    申请号:KR20187006606

    申请日:2017-02-23

    Applicant: FUJIFILM CORP

    Abstract: 수지층과수지층의밀착성이우수한적층체, 및적층체의제조방법, 반도체디바이스, 및반도체디바이스의제조방법의제공. 기판과, 적어도 2층의수지층을갖고, 상기수지층은각각독립적으로막면의적어도일부에있어서다른수지층과접하고있고, 각각독립적으로영률이 2.8㎬를초과하고 5.0㎬이하, 또한, 파단신도가 50%를초과하고 200% 이하이며, 또한, 3차원라디칼가교구조를갖고, 상기수지층중 적어도 1층은폴리이미드및 폴리벤조옥사졸중 적어도 1종을포함하는적층체.

    Abstract translation: 树脂层与树脂层的密合性优异的层压体及层压体的制造方法,半导体装置以及半导体装置的制造方法。 具有上述基板的树脂层,至少两个层,该树脂层可以在薄膜表面的至少一部分与其它树脂层接触,各自独立地,各自独立地为杨氏模量超过2.8㎬和5.0㎬或更小,并且断裂伸长率 大于50%且不大于200%,并且具有三维自由基交联结构,并且至少一个树脂层含有聚酰亚胺和聚苯并恶唑中的至少一种。

    9.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:AT471812T

    公开(公告)日:2010-07-15

    申请号:AT08005296

    申请日:2008-03-20

    Applicant: FUJIFILM CORP

    Abstract: A negative lithographic printing plate precursor includes a support; and a photo-polymerization layer containing a polymer compound having at least one of a sulfonamido group and a cyclic structure derived from maleimide, and further having a hydrophilic group in a molecule thereof,

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