公开(公告)号：JPS62216276A

公开(公告)日：1987-09-22

申请号：JP31593386

申请日：1986-12-25

Applicant: GEN DYNAMICS CORP

Inventor： GEIRII ERU HAANAGERU ,  GEIRII TEII RAGA ,  JIYOSEFU EMU HARISON ,  BIKUTOORU EI TOWADERU

IPC: H01L31/0264 ,  G01J1/02 ,  H01L31/00 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/042 ,  H01L31/07 ,  H01L31/108

公开(公告)号：JPS56135983A

公开(公告)日：1981-10-23

申请号：JP3043581

申请日：1981-03-03

Applicant: GEN DYNAMICS CORP

Inventor： GEIRII ERU HAANAGERU ,  GEIRII TEII RAGA ,  JIYOSEFU EMU HARISON ,  BIKUTOORU EI TOWADERU

IPC: H01L31/0264 ,  G01J1/02 ,  H01L31/00 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/042 ,  H01L31/07 ,  H01L31/108