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公开(公告)号：DE102019217665A1
公开(公告)日：2020-06-25
申请号：DE102019217665
申请日：2019-11-18
Applicant: GLOBALFOUNDRIES INC
Inventor： PETHE WIELAND , NOACK DIRK
IPC: H01L21/67 , H01L21/324 , H01L21/477
Abstract: Ein hierin offenbartes anschauliches System umfasst eine Prozesskammer, die in einem Bearbeitungswerkzeug positioniert ist, und ein Wafer-Chuck, der angepasst ist, um in einer Wafer-Bearbeitungsposition innerhalb der Prozesskammer und in einer Chuck-Wafer-Transferposition außerhalb der Prozesskammer positioniert zu werden.
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