公开(公告)号：DE102006004411B4

公开(公告)日：2017-11-09

申请号：DE102006004411

申请日：2006-01-31

Applicant: GLOBALFOUNDRIES INC

Inventor： TUOHY GARRY

IPC: H01L21/66

Abstract: Verfahren mit: progressivem Filtern eines ersten Satzes aus Messdaten (152A), die von mehreren Positionen eines Substrats mit darauf ausgebildeten mehreren Halbleiterbauelementen in einem ersten Fertigungsstadium gewonnen werden, um mehrere Sätze aus progressiv gefilterten Messdaten zu erzeugen, wobei progressives Filtern einen Filterprozess beinhaltet, in welchem die anfänglichen Messdaten im Hinblick auf das gleiche Filterkriterium gefiltert werden, jedoch mit einem zunehmend eingeschränkten Filterverhalten; Erhalten eines zweiten Satzes aus Messdaten (152B) von den mehreren Positionen des Substrats in einem zweiten Fertigungsstadium; Kombinieren des zweiten Satzes aus Messdaten (152B) mit jedem der mehreren Sätzen aus progressiv gefilterten Messdaten, und Bestimmen für jede Kombination jeden Satzes der progressiv gefilterten Messdaten mit dem zweiten Satz aus Messdaten (152B) eines Werts einer Eigenschaft der mehreren Sätze aus progressiv gefilterten Messdaten.