公开(公告)号：DE112020006608T5

公开(公告)日：2022-11-10

申请号：DE112020006608

申请日：2020-04-07

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： HASEGAWA TERUAKI

IPC: H01J3/38 ,  H01J37/06 ,  H01J37/147 ,  H01J37/26

Abstract: Diese Ladungsteilchenkanone besitzt einen Bolzen, an dem eine Ladungsteilchenquelle angebracht ist, eine Mutter, die mit dem Bolzen zusammengeschraubt ist und dadurch die Ladungsteilchenquelle hält, und eine Mutternsitzoberfläche, die mit der Mutter in Kontakt steht. Die Mutter enthält einen Neigungseinstellabschnitt, wobei es möglich ist, den Neigungswinkel der Ladungsteilchenquelle in Bezug auf die Mutternsitzoberfläche einzustellen, und einen Arretierungsabschnitt, der verhindert, dass sich die Mutter und der Bolzen, wenn sie zusammengeschraubt sind, lösen. Die innere Oberfläche der Mutter besitzt einen Schraubengewindeabschnitt und einen schraubengewindefreien Abschnitt mit einem größeren Innendurchmesser als der Schraubengewindeabschnitt. Der Neigungseinstellabschnitt weist auf: einen ersten Schlitz, der so gebildet ist, dass er durch einen Bereich von einem Teil der äußeren Oberfläche der Mutter zu einem Teil des schraubengewindefreien Abschnitts durchgeht; eine Neigungseinstellschraube; einen ersten Teil, der zwischen dem ersten Schlitz und einer zweiten Oberfläche positioniert ist; einen zweiten Teil, der zwischen dem ersten Schlitz und einer ersten Oberfläche positioniert ist; und ein erstes Schraubenloch, das mit der Neigungseinstellschraube zusammengeschraubt ist

公开(公告)号：DE112020006608B4

公开(公告)日：2025-04-17

申请号：DE112020006608

申请日：2020-04-07

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： HASEGAWA TERUAKI

IPC: H01J3/38 ,  H01J37/06 ,  H01J37/147 ,  H01J37/26

Abstract: Ladungsteilchenkanone (110), die aufweist:eine Ladungsteilchenquelle (111);einen Bolzen (116) mit der daran angebrachten Ladungsteilchenquelle (111);eine Mutter (112), die eine erste Oberfläche (112t) und eine zweite Oberfläche (112b) auf einer entgegengesetzten Seite der ersten Oberfläche (112t) enthält und dazu ausgebildet ist, die Ladungsteilchenquelle (111) zu halten, indem sie auf den Bolzen (116) mit der daran angebrachten Ladungsteilchenquelle (111) geschraubt wird; undeine Mutternsitzoberfläche (113t), die dazu ausgebildet ist, die zweite Oberfläche (112b) der Mutter (112) zu kontaktieren,wobei die Mutter (112) enthält:die erste Oberfläche (112t), die zweite Oberfläche (112b), eine äußere Oberfläche (112s1), und eine innere Oberfläche (112s2);einen Schraubengewindeabschnitt (50), der auf einem Teil der inneren Oberfläche (112s2) vorgesehen und mit mehreren Schraubengewinden gebildet ist, um mit dem Bolzen (116) verschraubt zu werden;einen Neigungseinstellabschnitt (20), der dazu ausgebildet ist, einen Neigungswinkel der Ladungsteilchenquelle (111) in Bezug auf die Mutternsitzoberfläche (113t) einstellen zu können, wobei sich die Ladungsteilchenquelle (111) in einem Zustand, in dem sie von der Mutter (112) gehalten wird, befindet; undeinen Arretierungsabschnitt (30), der dazu ausgebildet ist, ein Lösen eines verschraubten Zustands zwischen der Mutter (112) und dem Bolzen (116) zu verhindern, wobei:die innere Oberfläche (112s2) der Mutter (112) enthält:den Schraubengewindeabschnitt (50); undeinen schraubengewindefreien Abschnitt (40) mit einem Innendurchmesser, der größer ist als ein Innendurchmesser des Schraubengewindeabschnitts (50), undder Neigungseinstellabschnitt (20) enthält:einen ersten Schlitz (21), der so gebildet ist, dass er sich von einem Teil der äußeren Oberfläche (112s1) zu einem Teil des schraubengewindefreien Abschnitts (40) erstreckt;eine Neigungseinstellschraube (22);einen ersten Teil (23), der zwischen dem ersten Schlitz (21) und der zweiten Oberfläche (112b) angeordnet ist;einen zweiten Teil (24), der zwischen dem ersten Schlitz (21) und der ersten Oberfläche (112t) angeordnet ist; undein erstes Schraubenloch (25) mit der darin eingeschraubten Neigungseinstellschraube (22), wobei das erste Schraubenloch (25) so gebildet ist, dass es sich von der ersten Oberfläche (112t) zu dem ersten Schlitz (21) in dem zweiten Teil (24) erstreckt,wobei eine Spitze der Neigungseinstellschraube (22) den ersten Schlitz (21) erweitert und über den ersten Teil (23) auf die Mutternsitzoberfläche (113t) drückt, wodurch der Neigungswinkel der Ladungsteilchenquelle (111) in Bezug auf die Mutternsitzoberfläche (113t) verändert wird.