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发明公开
功能梯度型无机抗蚀剂、带有功能梯度型无机抗蚀剂的基板、带有功能梯度型无机抗蚀剂的圆筒基材、功能梯度型无机抗蚀剂的形成方法和微细图案形成方法、以及无机抗蚀剂和其制造方法无效

公开(公告)号：CN102472963A

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN201080029743.1

申请日：2010-07-01

Applicant: HOYA株式会社

Inventor： 雨宫勋 , 中塚荣 , 谷口和丈 , 木村生

IPC: G03F7/004 , G03F7/11 , H01L21/027 , H01L21/3065

CPC classification number: G03F7/0042 , G03F7/2053

Abstract: 一种功能梯度型无机抗蚀剂，其具有被照射激光的主表面和与上述主表面相向的背面、通过热而变化状态；上述功能梯度型无机抗蚀剂包含单层抗蚀剂；使上述单层抗蚀剂的至少组成从上述主表面侧至上述背面侧连续地变化；上述单层抗蚀剂中，局部被照射激光时达到一定温度的区域的各向异性从上述主表面侧向上述背面侧连续地提高。

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