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公开(公告)号:CN101356040B
公开(公告)日:2012-05-30
申请号:CN200780001238.4
申请日:2007-09-11
Applicant: HOYA株式会社
CPC classification number: G11B5/8404 , B24B37/042 , B24B37/08
Abstract: 在一边供给含大粒径研磨磨粒的研磨液、一边使玻璃基板与软质的研磨垫相对移动、进行研磨的先行研磨工序中,玻璃基板主表面的端部成为比中央部隆起的形状(滑行跳变)。在后续的研磨工序中,使用含有小粒径研磨磨粒的研磨液和硬度更高的研磨垫,进行这样的研磨:假设研磨具有平坦端部的玻璃基板,则能得到主表面的端部比中央部下降的形状(滑离)的玻璃基板。这样,使玻璃基板朝着抵消先行研磨工序中形成的滑行跳变的方向变化,使端部形状近于平坦。
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公开(公告)号:CN103282160A
公开(公告)日:2013-09-04
申请号:CN201180063508.0
申请日:2011-12-29
Applicant: HOYA株式会社
CPC classification number: G11B5/8404 , B24B37/044 , B24B37/08 , C09K3/1409 , C09K3/1463
Abstract: 本发明提供一种磁盘用玻璃基板的制造方法以及磁盘的制造方法,其中,使用具有与从过去为了磁盘用玻璃基板主表面的研磨而作为研磨剂使用的氧化铈相同的研磨性能的替代研磨剂。使用研磨液对磁盘用玻璃基板主表面进行研磨时,作为研磨液使用包含研磨剂、第一添加剂、第二添加剂的研磨液,所述研磨剂由粒状氧化锆组成,所述第一添加剂包含磷酸盐以及/或者磺酸盐,所述第二添加剂包含再凝集防止剂。
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公开(公告)号:CN104011795A
公开(公告)日:2014-08-27
申请号:CN201280064360.7
申请日:2012-12-28
Applicant: HOYA株式会社
CPC classification number: G11B5/8404 , B24B37/044 , B24B37/08
Abstract: 本发明提供磁盘用玻璃基板的制造方法,在使用氧化锆磨粒作为游离磨粒的研磨材料进行研磨来制造磁盘用玻璃基板时,可以制造难以产生磁头划碰故障、热粗糙故障等不良情况的磁盘用玻璃基板。该方法为具备一对主表面以及与该一对主表面正交的侧壁面的磁盘用玻璃基板的制造方法,该制造方法包括:研磨工序,使盘状的玻璃坯板保持在载具中,利用研磨垫夹着该玻璃坯板的主表面,在玻璃坯板和研磨垫之间供给具有氧化锆颗粒作为研磨磨粒的研磨液,使研磨垫与玻璃坯板进行相对移动,由此对玻璃坯板的主表面进行研磨;和除去工序,在上述研磨工序之后,物理性除去在研磨上述玻璃坯板的侧壁面或主表面时由于该玻璃坯板的侧壁面与玻璃基板的侧壁面面对的载具的端面发生摩擦而附着于玻璃坯板的侧壁面的氧化锆颗粒。
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公开(公告)号:CN102615588A
公开(公告)日:2012-08-01
申请号:CN201210090406.4
申请日:2007-09-11
Applicant: HOYA株式会社
CPC classification number: G11B5/8404 , B24B37/042 , B24B37/08
Abstract: 本发明涉及磁盘用玻璃基板的制造方法及磁盘的制造方法。在一边供给含大粒径研磨磨粒的研磨液、一边使玻璃基板与软质的研磨垫相对移动、进行研磨的先行研磨工序中,玻璃基板主表面的端部成为比中央部隆起的形状(滑行跳变)。在后续的研磨工序中,使用含有小粒径研磨磨粒的研磨液和硬度更高的研磨垫,进行这样的研磨:假设研磨具有平坦端部的玻璃基板,则能得到主表面的端部比中央部下降的形状(滑离)的玻璃基板。这样,使玻璃基板朝着抵消先行研磨工序中形成的滑行跳变的方向变化,使端部形状近于平坦。
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公开(公告)号:CN104011795B
公开(公告)日:2017-02-22
申请号:CN201280064360.7
申请日:2012-12-28
Applicant: HOYA株式会社
CPC classification number: G11B5/8404 , B24B37/044 , B24B37/08
Abstract: 本发明提供磁盘用玻璃基板的制造方法,在使用氧化锆磨粒作为游离磨粒的研磨材料进行研磨来制造磁盘用玻璃基板时,可以制造难以产生磁头划碰故障、热粗糙故障等不良情况的磁盘用玻璃基板。该方法为具备一对主表面以及与该一对主表面正交的侧壁面的磁盘用玻璃基板的制造方法,该制造方法包括:研磨工序,使盘状的玻璃坯板保持在载具中,利用研磨垫夹着该玻璃坯板的主表面,在玻璃坯板和研磨垫之间供给具有氧化锆颗粒作为研磨磨粒的研磨液,使研磨垫与玻璃坯板进行相对移动,由此对玻璃坯板的主表面进行研磨;和除去工序,在上述研磨工序之后,物理性除去在研磨上述玻璃坯板的侧壁面或主表面时由于该玻璃坯板的侧壁面与玻璃基板的侧壁面面对的载具的端面发生摩擦而附着于
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公开(公告)号:CN102615588B
公开(公告)日:2014-12-17
申请号:CN201210090406.4
申请日:2007-09-11
Applicant: HOYA株式会社
CPC classification number: G11B5/8404 , B24B37/042 , B24B37/08
Abstract: 在一边供给含大粒径研磨磨粒的研磨液、一边使玻璃基板与软质的研磨垫相对移动、进行研磨的先行研磨工序中,玻璃基板主表面的端部成为比中央部隆起的形状(滑行跳变)。在后续的研磨工序中,使用含有小粒径研磨磨粒的研磨液和硬度更高的研磨垫,进行这样的研磨:假设研磨具有平坦端部的玻璃基板,则能得到主表面的端部比中央部下降的形状(滑离)的玻璃基板。这样,使玻璃基板朝着抵消先行研磨工序中形成的滑行跳变的方向变化,使端部形状近于平坦。
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公开(公告)号:CN101356040A
公开(公告)日:2009-01-28
申请号:CN200780001238.4
申请日:2007-09-11
Applicant: HOYA株式会社
CPC classification number: G11B5/8404 , B24B37/042 , B24B37/08
Abstract: 在一边供给含大粒径研磨磨粒的研磨液、一边使玻璃基板与软质的研磨垫相对移动、进行研磨的先行研磨工序中,玻璃基板主表面的端部成为比中央部隆起的形状(滑行跳变)。在后续的研磨工序中,使用含有小粒径研磨磨粒的研磨液和硬度更高的研磨垫,进行这样的研磨:假设研磨具有平坦端部的玻璃基板,则能得到主表面的端部比中央部下降的形状(滑离)的玻璃基板。这样,使玻璃基板朝着抵消先行研磨工序中形成的滑行跳变的方向变化,使端部形状近于平坦。
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