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公开(公告)号：CN1239924C
公开(公告)日：2006-02-01
申请号：CN03120611.5
申请日：1998-05-18
Applicant: HOYA株式会社
CPC classification number: B32B15/08 , B32B27/08 , C23C14/044 , C23C14/3464 , C23C14/505 , G02B1/115
Abstract: 在其塑料底料(10)的表面上涂有抗反射膜(10)的塑料光学器件中，此抗反射膜是多层膜，由先在此底料(10)的一侧淀积高折射材料的第一层(131)继以低折射材料的第二层再交迭地叠层以这些高、低折射材料而成。光学透镜底料(10)的表面有曲率，有多个这样的底料(10)水平地设置于可沿水平方向转动的圆盘支座(26)上。所用溅射膜淀积系统包括面对底料(10)表面的靶(31)。沿连接支座(26)的周边部与中央部的方向并在靶(31)与支座(26)之间设有起到掩模件作用的膜厚校正板以调节膜厚差。
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公开(公告)号：CN1755398A
公开(公告)日：2006-04-05
申请号：CN200510099112.8
申请日：1998-05-18
Applicant: HOYA株式会社
Abstract: 在其塑料底料(10)的表面上涂有抗反射膜(10)的塑料光学器件中，此抗反射膜是多层膜，由先在此底料(10)的一侧淀积高折射材料的第一层(131)继以低折射材料的第二层再交迭地叠层以这些高、低折射材料而成。光学透镜底料(10)的表面有曲率，有多个这样的底料(10)水平地设置于可沿水平方向转动的圆盘支座(26)上。所用溅射膜淀积系统包括面对底料(10)表面的靶(31)。沿连接支座(26)的周边部与中央部的方向并在靶(31)与支座(26)之间设有起到掩模件作用的膜厚校正板以调节膜厚差。
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公开(公告)号：CN100492057C
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：CN200510099112.8
申请日：1998-05-18
Applicant: HOYA株式会社
Abstract: 溅射膜淀积的厚度校正机构用于由溅射法将薄膜淀积到光学透镜底料表面上的薄膜淀积系统，该光学透镜底料用作具有弯月形的塑料镜片的底料，厚度校正机构包括用于校正此薄膜厚度差的厚度校正板；光学透镜底料的表面有曲率，有多个这样的光学透镜底料水平地布置于圆盘支座中的若干同心圆上，此支座取水平位置并可转动；光学透镜底料的上表面为凹面，其下表面为凸面；薄膜淀积系统包括面对光学透镜底料的凹面的靶；厚度校正板是用来调节膜厚差的用于凹面的掩模件，该掩模件依连接支座的周边部与中央部的方向设置，且位于靶与支座之间；对应于所述光学透镜底料之间边界所在位置的那些部分沿圆周方向的大小大于其它部分沿圆周方向的大小。
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公开(公告)号：CN100354673C
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN98800650.2
申请日：1998-05-18
Applicant: HOYA株式会社
CPC classification number: G02B1/11 , C23C14/50 , C23C14/505
Abstract: 于溅射系统中由溅射法将抗反射膜涂层到光学镜片两侧上的抗反射膜。在用于进行这种溅射的真空处理室(22)中，多块光学镜片底料(11)沿横向放置到设定于真空气氛中可转动的底料支座(26)上。这些底料用环形保持工具(52，152)嵌装于支座(26)中形成的孔(26a)内且以其凹面冲上。工具(52)的高度当底料(11)的镜片边缘厚度大时大于此边缘的高度但不大于2mm。工具(152)的与光学镜片底料(11)一起放置的部分当此底料的镜片边缘厚度小时呈锥形。
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