公开(公告)号：US3452205A

公开(公告)日：1969-06-24

申请号：US3452205D

申请日：1967-01-13

Applicant: IBM

Inventor： BOGHOLTZ RICHARD JR ,  DYM HERBERT

IPC: G02B27/00 ,  G01J1/42 ,  G01R23/00 ,  G01S7/483 ,  H01L27/14 ,  H01L31/02 ,  H04N3/12 ,  H01J39/12

CPC classification number: H04N3/12 ,  G01J1/42 ,  G01R23/00 ,  G01S7/483 ,  H01L31/02019

公开(公告)号：CA838275A

公开(公告)日：1970-03-31

申请号：CA838275D

Applicant: IBM

Inventor： DYM HERBERT ,  BOGHOLTZ RICHARD JR