公开(公告)号：DE112018000142B4

公开(公告)日：2021-02-18

申请号：DE112018000142

申请日：2018-01-09

Applicant: IBM

Inventor： KIM WANKI ,  LAM CHUNG HON ,  BRUCE ROBERT ,  CARTA FABIO

IPC: H01L45/00 ,  H01L21/82 ,  H01L27/24

Abstract: Verfahren zum Herstellen einer Phasenwechsel-Speicheranordnung, wobei das Verfahren umfasst:Bilden (202) einer Vielzahl Basiselektroden (104);Abscheiden (204) von Selektormaterial (118) in einer durchgehenden Schicht oberhalb und in Kontakt mit den Basiselektroden, wobei das Selektormaterial so beschaffen ist, dass es elektrischen Strom nur leitet, wenn eine an das Selektormaterial angelegte Spannung einen Spannungs-Schwellenwert überschreitet;Abscheiden (208) einer dielektrischen Opferschicht (502) oberhalb des Selektormaterials;Bilden (210) einer Vielzahl Speichersäulen (108) innerhalb der dielektrischen Opferschicht (502) oberhalb des Selektormaterials, wobei jede der Speichersäulen ein von einem dielektrischen Mantel (112) umgebenes Phasenwechselmaterial (110) enthält, wobei das Selektormaterial in Reihenschaltung zwischen jeweils einer der Vielzahl Basiselektroden und dem Phasenwechselmaterial angeordnet ist;Entfernen (212) der dielektrischen Opferschicht unter Beibehaltung der durchgehenden Schicht aus Selektormaterial; undBilden (216) einer Vielzahl Deckelektroden (106) oberhalb der Speichersäulen, wobei die Deckelektroden elektrisch mit den Speichersäulen verbunden sind.

公开(公告)号：DE112018000142T5

公开(公告)日：2019-07-25

申请号：DE112018000142

申请日：2018-01-09

Applicant: IBM

Inventor： KIM WANKI ,  LAM CHUNG HON ,  BRUCE ROBERT ,  CARTA FABIO

IPC: H01L45/00 ,  H01L21/82 ,  H01L27/24

Abstract: Phasenwechsel-Speicheranordnung und Verfahren zum Herstellen derselben. Die Phasenwechsel-Speicheranordnung enthält eine Vielzahl Basiselektroden, Deckelektroden und Speichersäulen. Jede der Speichersäulen enthält von einem dielektrischen Mantel umgebenes Phasenwechselmaterial. Das Phasenwechselmaterial ist in Reihenschaltung zwischen jeweils einer der Vielzahl Basiselektroden und jeweils einer der Vielzahl Deckelektroden angeordnet. Zwischen den Speichersäulen und der Vielzahl Basiselektroden ist eine durchgehende Schicht aus Selektormaterial angeordnet. Das Selektormaterial ist so beschaffen, dass es elektrischen Strom nur leitet, wenn eine an das Selektormaterial angelegte Spannung einen Spannungs-Schwellenwert überschreitet.