公开(公告)号：DE69417944T2

公开(公告)日：1999-12-09

申请号：DE69417944

申请日：1994-02-17

Applicant: IBM

Inventor： BRADY FREDERICK T ,  EDENFELD ARTHUR ,  HADDAD NADIM F

IPC: H01L27/12 ,  H01L21/822 ,  H01L21/84 ,  H01L27/00 ,  H01L27/02 ,  H01L27/04 ,  H01L29/78 ,  H01L29/786 ,  H01L29/866 ,  H01L21/82

公开(公告)号：DE69417944D1

公开(公告)日：1999-05-27

申请号：DE69417944

申请日：1994-02-17

Applicant: IBM

Inventor： BRADY FREDERICK T ,  EDENFELD ARTHUR ,  HADDAD NADIM F

IPC: H01L27/12 ,  H01L21/822 ,  H01L21/84 ,  H01L27/00 ,  H01L27/02 ,  H01L27/04 ,  H01L29/78 ,  H01L29/786 ,  H01L29/866 ,  H01L21/82