公开(公告)号：DE3463574D1

公开(公告)日：1987-06-11

申请号：DE3463574

申请日：1984-05-25

Applicant: IBM

Inventor： COCHRAN THOMAS JOHN ,  HODGE PHILO BURTON ,  HOTTENROTT HANS GUENTHER

IPC: G01R1/06 ,  G01R1/073 ,  G01R31/28 ,  H01L21/66

公开(公告)号：DE2960084D1

公开(公告)日：1981-03-12

申请号：DE2960084

申请日：1979-04-26

Applicant: IBM

Inventor： FAURE LOUIS HENRY ,  HODGE PHILO BURTON

IPC: H01L21/68 ,  G01R1/073 ,  G01R31/28 ,  H01L21/66 ,  G05D3/20