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公开(公告)号:BR7707305A
公开(公告)日:1978-07-25
申请号:BR7707305
申请日:1977-10-31
Applicant: IBM
IPC: H01L21/027 , G03F7/20 , H01L21/68 , H01L21/683 , G01B11/28
公开(公告)号:BR7707305A
公开(公告)日:1978-07-25
申请号:BR7707305
申请日:1977-10-31
Applicant: IBM
IPC: H01L21/027 , G03F7/20 , H01L21/68 , H01L21/683 , G01B11/28