公开(公告)号：DE68906615T2

公开(公告)日：1993-12-23

申请号：DE68906615

申请日：1989-07-29

Applicant: IBM

Inventor： GREER STUART E ,  HOWARD ROBERT T

IPC: H01L21/3205 ,  H01L21/28 ,  H01L21/60 ,  H01L23/485 ,  H01L21/90

公开(公告)号：DE68906615D1

公开(公告)日：1993-06-24

申请号：DE68906615

申请日：1989-07-29

Applicant: IBM

Inventor： GREER STUART E ,  HOWARD ROBERT T

IPC: H01L21/3205 ,  H01L21/28 ,  H01L21/60 ,  H01L23/485 ,  H01L21/90