公开(公告)号：DE3883590T2

公开(公告)日：1994-04-21

申请号：DE3883590

申请日：1988-04-08

Applicant: IBM

Inventor： HOREL TIMOTHY ALAN ,  HOYT EDWARD STANLEY ,  WALLS LLOYD ANDRE

IPC: G01R31/26 ,  G01R1/073 ,  G01R31/28 ,  H01L21/66

公开(公告)号：DE3883590D1

公开(公告)日：1993-10-07

申请号：DE3883590

申请日：1988-04-08

Applicant: IBM

Inventor： HOREL TIMOTHY ALAN ,  HOYT EDWARD STANLEY ,  WALLS LLOYD ANDRE

IPC: G01R31/26 ,  G01R1/073 ,  G01R31/28 ,  H01L21/66