公开(公告)号：DE102012221815A1

公开(公告)日：2013-06-20

申请号：DE102012221815

申请日：2012-11-29

Applicant: IBM

Inventor： JAHNES CHISTOPHER V ,  STAMPER ANTHONY K

IPC: B81C1/00 ,  B81B7/02 ,  H01L21/66

Abstract: Es werden Kondensatoreinheiten mit mikroelektromechanischer Struktur (MEMS), eine Kondensatortrimmung für MEMS-Kondensatoreinheiten und Design-Strukturen offenbart. Das Verfahren weist das Identifizieren einer Verfahrensschwankung in Bezug auf eine Bildung von Kondensatoreinheiten mit mikroelektromechanischer Struktur (MEMS) über ein Substrat auf. Das Verfahren weist ferner das Bereitstellen von Design-Veränderungen oder Verfahrensveränderungen in Elektrodenflächen der MEMS-Kondensatoreinheiten über das Substrat auf der Grundlage der identifizierten Verfahrensschwankung auf.