公开(公告)号：US3088888A

公开(公告)日：1963-05-07

申请号：US80319059

申请日：1959-03-31

Applicant: IBM

Inventor： JERRY LEFF

IPC: C25F3/12 ,  H01L21/00

CPC classification number: C25F3/12 ,  H01L21/00

公开(公告)号：CH476397A

公开(公告)日：1969-07-31

申请号：CH1003168

申请日：1968-07-04

Applicant: IBM

Inventor： RICHARD JOSEPH HERDZIK ,  JERRY LEFF ,  ROBERT GEORGE SHEPHEARD ,  RAEMAN PAUL SOPHER ,  PAUL ANTHONY TOTTA ,  JOHN EDWARD VANDERSEA

IPC: H01L21/00 ,  H01L23/485 ,  H01L5/02 ,  H01L7/02