公开(公告)号：FR2372904A1

公开(公告)日：1978-06-30

申请号：FR7729874

申请日：1977-09-28

Applicant: IBM

Inventor： BASSOUS ERNEST ,  LIU CHENG-YIH

IPC: C23F1/10 ,  H01L21/308 ,  H01L21/3213 ,  C23G1/00 ,  H01L21/306

公开(公告)号：FR2374396A1

公开(公告)日：1978-07-13

申请号：FR7733078

申请日：1977-10-24

Applicant: IBM

Inventor： LIU CHENG-YIH

IPC: C23F1/10 ,  C09K13/08 ,  C23F1/24 ,  H01L21/306 ,  H01L21/308 ,  H01L21/311 ,  H01L21/316

公开(公告)号：DE2749636A1

公开(公告)日：1978-05-24

申请号：DE2749636

申请日：1977-11-05

Applicant: IBM

Inventor： BASSOUS ERNEST ,  LIU CHENG-YIH

IPC: C23F1/10 ,  H01L21/308 ,  H01L21/3213 ,  C09K13/00

公开(公告)号：DE3577757D1

公开(公告)日：1990-06-21

申请号：DE3577757

申请日：1985-01-17

Applicant: IBM

Inventor： LIU CHENG-YIH

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26 ,  G03F7/38 ,  H01L21/027 ,  H05K3/00

公开(公告)号：DE2752482A1

公开(公告)日：1978-06-22

申请号：DE2752482

申请日：1977-11-24

Applicant: IBM

Inventor： LIU CHENG-YIH

IPC: C23F1/10 ,  C09K13/08 ,  C23F1/24 ,  H01L21/306 ,  H01L21/308 ,  H01L21/311 ,  H01L21/316 ,  C09K13/00