公开(公告)号：US3515877A

公开(公告)日：1970-06-02

申请号：US3515877D

申请日：1965-12-13

Applicant: JOHN W MASSING ,  IBM ,  CLAUDE B SMOYER

Inventor： BAXTER DUANE W ,  HEIDRICH PAUL F ,  MASSING JOHN M

IPC: G03F9/00 ,  G05D3/14 ,  G05D3/20 ,  H01L21/68 ,  G05B1/01

CPC classification number: G03F9/70 ,  G05D3/14 ,  G05D3/20 ,  H01L21/681

公开(公告)号：CA810810A

公开(公告)日：1969-04-15

申请号：CA810810D

Applicant: IBM

Inventor： BAXTER DUANE W ,  MASSING JOHN M ,  HEIDRICH PAUL F ,  SMOYER CLAUDE B