公开(公告)号：US3289054A

公开(公告)日：1966-11-29

申请号：US33344363

申请日：1963-12-26

Applicant: IBM

Inventor： HAERING RUDOLPH R ,  MIKSIC MARK G

IPC: H01L23/29 ,  H01L29/00 ,  H01L29/786

CPC classification number: H01L29/78681 ,  H01L23/29 ,  H01L29/00 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

公开(公告)号：US3303067A

公开(公告)日：1967-02-07

申请号：US33340663

申请日：1963-12-26

Applicant: IBM

Inventor： HAERING RUDOLPH R ,  MIKSIC MARK G ,  PENNEBAKER WILLIAM B

IPC: H01L21/203 ,  H01L27/00 ,  H01L27/088 ,  H01L29/00 ,  H01L29/78 ,  H01L29/786

CPC classification number: H01L29/78681 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02557 ,  H01L21/02631 ,  H01L21/02639 ,  H01L27/00 ,  H01L27/088 ,  H01L29/00 ,  H01L29/78 ,  Y10S148/053 ,  Y10S148/064 ,  Y10S148/15 ,  Y10S148/158 ,  Y10S148/169 ,  Y10S252/951 ,  Y10S438/909

公开(公告)号：US3289053A

公开(公告)日：1966-11-29

申请号：US33327963

申请日：1963-12-26

Applicant: IBM

Inventor： HAERING RUDOLPH R ,  MIKSIC MARK G ,  PENNEBAKER WILLIAM B

IPC: C23C14/04 ,  H01L23/29 ,  H01L29/00

CPC classification number: H01L23/29 ,  C23C14/042 ,  H01L29/00 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

公开(公告)号：CA816337A

公开(公告)日：1969-06-24

申请号：CA816337D

Applicant: IBM

Inventor： MIKSIC MARK G ,  HAERING RUDOLPH R

公开(公告)号：CA769329A

公开(公告)日：1967-10-10

申请号：CA769329D

Applicant: IBM

Inventor： MIKSIC MARK G ,  HAERING RUDOLPH R ,  PENNEBAKER WILLIAM B

公开(公告)号：CA773779A

公开(公告)日：1967-12-12

申请号：CA773779D

Applicant: IBM

Inventor： HAERING RUDOLPH R ,  PENNEBAKER WILLIAM B ,  MIKSIC MARK G