公开(公告)号：DE102016211277A1

公开(公告)日：2017-01-19

申请号：DE102016211277

申请日：2016-06-23

Applicant: IBM

Inventor： CHEY S J ,  HAMANN HENDRIK F ,  KLEIN LEVENTE L ,  LU SIYUAN ,  NAGY ROLAND

IPC: G01N27/12

Abstract: Eine Gassensor-Einheit beinhaltet ein dielektrisches Substrat, eine Heizvorrichtung, die in eine erste Seite des Substrats integriert ist, sowie ein isolierendes Dielektrikum, das über der Heizvorrichtung ausgebildet ist. Eine Gassensor-Schicht ist auf einer zweiten Seite des Substrats ausgebildet, die entgegengesetzt zu der ersten Seite liegt. Auf dem Gassensor-Substrat sind Kontakte ausgebildet. Auf einem Bereich der Gassensor-Schicht zwischen den Kontakten ist ein Edelmaterial ausgebildet, das als ein ionisierender Katalysator wirkt, so dass eine Adsorption eines spezifischen Gases bei Erwärmen auf eine Temperatur elektronische Eigenschaften der Gassensor-Schicht verändert, um so eine Erfassung des Gases zu erlauben.