公开(公告)号：DE112016005262T5

公开(公告)日：2018-08-16

申请号：DE112016005262

申请日：2016-11-16

Applicant: IBM

Inventor： GOTSMANN BERND W ,  MENGES FABIAN ,  NIRMALRAJ PIO PETER NIRAJ

IPC: G01Q70/14

Abstract: Die Erfindung bezieht sich im Wesentlichen auf einen Rastersondensensor für ein Rastersondenmikroskop. Der Rastersondensensor weist ferner eine Sondenspitze mit einem ferromagnetischen Fluid und einen Magnetfeldgenerator auf, der geeignet ist, ein Magnetfeld zu erzeugen, das auf das ferromagnetische Fluid wirkt. Darüber hinaus wird eine Sensorsteuereinheit bereitgestellt, die so konfiguriert ist, dass sie einen oder mehrere Parameter des Magnetfeldgenerators steuert, wodurch die Form des Fluids gesteuert wird. Die Erfindung betrifft des Weiteren einen damit in Zusammenhang stehenden Rastersondensensor, ein damit in Zusammenhang stehendes Verfahren und ein damit in Zusammenhang stehendes Computerprogrammprodukt.