公开(公告)号：JPS60130193A

公开(公告)日：1985-07-11

申请号：JP14981584

申请日：1984-07-20

Applicant: IBM

Inventor： RAURU EDOMONDO AKOSUTA ,  EDOWAADO JIYON YAAMUCHIYUTSUKU

IPC: H05K3/18 ,  C23C18/16 ,  C23C18/31 ,  C23C18/40 ,  G01B7/06 ,  H05K1/02 ,  H05K3/00 ,  H05K3/24

公开(公告)号：JPS6010796A

公开(公告)日：1985-01-19

申请号：JP7767284

申请日：1984-04-19

Applicant: IBM

Inventor： RAURU EDOMONDO AKOSUTA ,  UIRUMA JIIN HOOKANSU ,  RUBII MIYUUKERUJII ,  JIYUDEISU DEIAN ORUSEN

IPC: H05K1/09 ,  C23C30/00 ,  H01L21/28 ,  H01L29/43 ,  H05K3/24 ,  H05K3/28 ,  H05K3/38 ,  H05K3/46 ,  H01L29/46