公开(公告)号：JPS62178904A

公开(公告)日：1987-08-06

申请号：JP29265586

申请日：1986-12-10

Applicant: IBM

Inventor： BUNSEN FUAN ,  REIMONDO YUUJIN CHIBETSUTSU ,  YANUSUZU SUTANISUROO UIRUJINSU ,  DEEBITSUDO FURANSHISU UITSUTOM

IPC: H01S3/101 ,  G02B5/02 ,  G02B5/08 ,  G02B27/09 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30

公开(公告)号：JPH0561602B2

公开(公告)日：1993-09-06

申请号：JP29265586

申请日：1986-12-10

Applicant: IBM

Inventor： BUNSEN FUAN ,  REIMONDO YUUJIN CHIBETSUTSU ,  YANUSUZU SUTANISUROO UIRUJINSU ,  DEEBITSUDO FURANSHISU UITSUTOM

IPC: H01S3/101 ,  G02B5/02 ,  G02B5/08 ,  G02B27/09 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30