公开(公告)号：EP2212240A4

公开(公告)日：2013-02-20

申请号：EP08842348

申请日：2008-09-24

Applicant: IBM

Inventor： HAIGHT RICHARD A ,  REUTER MARK C

IPC: B82B3/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/20 ,  H01L21/22 ,  H01L21/225 ,  H01L29/06

CPC classification number: H01L29/0665 ,  B82Y10/00 ,  H01L21/0242 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02439 ,  H01L21/02521 ,  H01L21/02573 ,  H01L21/02603 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02636 ,  H01L21/02645 ,  H01L21/02653 ,  H01L21/22 ,  H01L21/2254 ,  H01L29/0673 ,  H01L29/0676 ,  H01L29/068 ,  Y10S977/749 ,  Y10S977/762