公开(公告)号：DE69522241D1

公开(公告)日：2001-09-20

申请号：DE69522241

申请日：1995-05-13

Applicant: IBM

Inventor： BINNIG KARL ,  HAEBERLE WALTER ,  SCHEICH JOSEF

IPC: G01B21/30 ,  G01B7/34 ,  G01B21/00 ,  G01N27/00 ,  G01N37/00 ,  G01Q10/00 ,  G01Q10/04 ,  G01Q10/06 ,  G01Q30/04 ,  G01Q70/00 ,  G01Q90/00 ,  G01S7/52 ,  H04N7/00

公开(公告)号：DE69522241T2

公开(公告)日：2002-05-02

申请号：DE69522241

申请日：1995-05-13

Applicant: IBM

Inventor： BINNIG KARL ,  HAEBERLE WALTER ,  SCHEICH JOSEF

IPC: G01B21/30 ,  G01B7/34 ,  G01B21/00 ,  G01N27/00 ,  G01N37/00 ,  G01Q10/00 ,  G01Q10/04 ,  G01Q10/06 ,  G01Q30/04 ,  G01Q70/00 ,  G01Q90/00 ,  G01S7/52 ,  H04N7/00