公开(公告)号：DE3160591D1

公开(公告)日：1983-08-18

申请号：DE3160591

申请日：1981-04-28

Applicant: IBM

Inventor： ALPAUGH WARREN ALAN ,  MACUR GEORGE JOSEPH ,  SHARKNESS JAMES EDWARD

IPC: C02F1/58 ,  C02F1/32 ,  C02F1/62 ,  C02F1/70 ,  C02F1/72 ,  C02F1/74 ,  C02F1/78 ,  C02F9/00 ,  C23C18/16 ,  C23C3/00

公开(公告)号：DE3482318D1

公开(公告)日：1990-06-28

申请号：DE3482318

申请日：1984-12-04

Applicant: IBM

Inventor： MACUR GEORGE JOSEPH ,  PRATT W ROBERT ,  SHARKNESS JAMES EDWARD

IPC: C23C18/16 ,  C02F1/32 ,  C02F1/62 ,  C02F1/72 ,  C02F1/78 ,  C02F9/00 ,  C23C18/31 ,  C23C18/40