Vertikaler Mikrofluidik-Sondenkopf mit Öffnungen für eine großmaßstäbliche Oberflächenbearbeitung

    公开(公告)号:DE112017000632T5

    公开(公告)日:2018-10-31

    申请号:DE112017000632

    申请日:2017-03-28

    Applicant: IBM

    Abstract: Eine oder mehrere Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung beziehen sich auf einen vertikalen Mikrofluidik-Sondenkopf, der eine mittlere Schicht eines Materials und zwei äußere Schichten aufweist. Die mittlere Schicht weist zwei gegenüberliegende Hauptflächen auf, die jeweils bis zu einer selben Kantenfläche genutet werden, die jeweils so an die Hauptflächen grenzt, dass jeweils zwei Sätze von n Mikrokanal-Hohlräumen, n ≥ 1, auf den gegenüberliegenden Hauptflächen ausgebildet werden. Die mittlere Schicht ist des Weiteren zwischen den beiden äußeren Schichten angeordnet, die die auf den beiden Hauptflächen genuteten Mikrokanal-Hohlräume (zumindest zum Teil) verschließen. Auf diese Weise werden zwei Sätze von n Mikrokanälen ausgebildet, die jeweils auf der Kantenfläche offen sind, sodass zwei gegenüberliegende Sätze von n Durchlässen auf der Kantenfläche ausgebildet werden. Folglich wird die Länge der Öffnungen nicht durch die Dicke der mittleren Schicht begrenzt.

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