公开(公告)号：JPS58145938A

公开(公告)日：1983-08-31

申请号：JP1901883

申请日：1983-02-09

Applicant: IBM

Inventor： NIKORASU JIEFURIISU KUREKATSUK ,  DENISU RICHIYAADO MATSUKIIN ,  ROBAATO DENISU MIRAA ,  TERII KIYADEI TONPUKINSU ,  ROBAATO JIEEMUZU TSUUIIGU ,  KAARUTON GURANTO UIRUSON

IPC: G03C1/72 ,  C08L61/00 ,  C08L61/04 ,  G03F7/022 ,  H01L21/027

公开(公告)号：JPS6014235A

公开(公告)日：1985-01-24

申请号：JP4732384

申请日：1984-03-14

Applicant: IBM

Inventor： NIKORASU JIEFURIISU KUREKATSUK ,  DENISU RICHIYAADO MATSUKIIN ,  ROBAATO DENISU MIRAA ,  TERII KIYADEI TONPUKINSU ,  KAARUTON GURANTO UIRUSON

IPC: G03F7/20 ,  C07D213/77 ,  G03C1/72 ,  G03C5/08 ,  G03F7/008 ,  G03F7/016 ,  G03F7/022 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027 ,  G03F7/08