公开(公告)号：JPH08333424A

公开(公告)日：1996-12-17

申请号：JP13515296

申请日：1996-05-29

Applicant: IBM

Inventor： FURANSHISU CHIYAARUZU BAANZU ,  UIRIAMU UEZAAZU FUREMINGU ,  BIKUTAA II UEI RII ,  RANDEI UIRIAMU SUNAIDAA

IPC: C07C315/04 ,  C07C317/36 ,  C08F20/34 ,  C08F20/38 ,  C08F220/06 ,  C08F220/10 ,  C08F220/34 ,  C08F220/38 ,  C09D133/04 ,  C09D133/06 ,  C09D133/14 ,  G03F1/00 ,  G03F7/039 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L23/498 ,  H05K3/00 ,  H05K3/18