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发明专利
Verfahren zum epitaktischen Züchten einer kristallinen Halbleiterschicht aus der Dampfphase 未知

公开(公告)号：CH464154A

公开(公告)日：1968-10-31

申请号：CH1264865

申请日：1965-09-10

Applicant: IBM

Inventor： EDWARD GEORGE GROCHOWSKI , VINCENT JAMES LYONS

IPC: C30B25/02 , H01L21/00 , B01J17/26

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