公开(公告)号：DE69426056D1

公开(公告)日：2000-11-09

申请号：DE69426056

申请日：1994-08-30

Applicant: IBM

Inventor： BRADY FREDERICK T ,  HADDAD NADIM F ,  EDENFELD ARTHUR R ,  SELISKAR JOHN J ,  WANG LI KONG ,  SPENCER OLIVER

IPC: H01L27/04 ,  H01L21/822 ,  H01L21/84 ,  H01L27/12 ,  H01L29/78 ,  H01L29/786 ,  H01L23/552

公开(公告)号：DE69426056T2

公开(公告)日：2001-05-10

申请号：DE69426056

申请日：1994-08-30

Applicant: IBM

Inventor： BRADY FREDERICK T ,  HADDAD NADIM F ,  EDENFELD ARTHUR R ,  SELISKAR JOHN J ,  WANG LI KONG ,  SPENCER OLIVER

IPC: H01L27/04 ,  H01L21/822 ,  H01L21/84 ,  H01L27/12 ,  H01L29/78 ,  H01L29/786 ,  H01L23/552