Patent search ap:("IBM DEUTSCHLAND") AND inv:"PIETSCH DIETER" Page 1

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发明专利
未知

公开(公告)号：DE3581941D1

公开(公告)日：1991-04-04

申请号：DE3581941

申请日：1985-12-21

Applicant: IBM DEUTSCHLAND

Inventor： MORITZ HOLGER , PIETSCH DIETER , WUESTENHAGEN JUERGEN DR , ZIEGLER JOHANNA

IPC: G03C5/08 , G03F1/00 , G03F7/20 , H01L21/30

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