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公开(公告)号：CN118043931B
公开(公告)日：2025-02-21
申请号：CN202280066480.4
申请日：2022-08-29
Applicant: ICT半导体集成电路测试有限公司
IPC: H01J37/153 , H01J37/28
Abstract: 描述了一种确定带电粒子束系统中由聚焦透镜(120)朝向样本(10)聚焦的带电粒子束(11)的像差的方法。方法包括：(a)以一个或多个散焦设置拍摄样本的一个或多个图像以提供一个或多个拍摄图像(h1…N)；(b)基于射束像差系数集合(iC)和样本的聚焦图像，对以一个或多个散焦设置拍摄的样本的一个或多个图像进行仿真，以提供一个或多个仿真图像；(c)将一个或多个拍摄图像与一个或多个仿真图像进行比较，以确定两者之间的差异的大小(Ri)；以及(d)变化射束像差系数集合(iC)以提供更新的射束像差系数集合(i+1C)，并在迭代过程中使用更新的射束像差系数集合(i+1C)重复(b)和(c)，以最小化所述大小(Ri)。或者，在(b)中，可以仿真一个或多个射束横截面，并且在(c)中，可以将仿真射束横截面与从一个或多个拍摄图像检取的一个或多个检取射束横截面进行比较，以确定两者之间的差异的大小(Ri)。进一步地，提供了用于对样本进行成像和/或检验的、被配置为用于任何这样的方法的带电粒子束系统。
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公开(公告)号：CN117981040A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202280064053.2
申请日：2022-08-29
Applicant: ICT半导体集成电路测试有限公司
Abstract: 提供一种确定通过聚焦透镜(120)朝向带电粒子束系统(100)中的样本(10)聚焦的带电粒子束(11)的束汇聚度的方法。所述方法包括：(a)当样本布置在与带电粒子束的相应射束焦点相距一个或多个散焦距离处时，获取样本的一个或多个图像；(b)从一个或多个图像检取一个或多个射束横截面；(c)从一个或多个射束横截面确定一个或多个射束宽度；以及(d)基于一个或多个射束宽度和一个或多个散焦距离计算至少一个束汇聚度值。另外，提供一种用于对样本进行成像和/或检查的带电粒子束系统，所述带电粒子束系统经配置用于本文所述方法中的任一者。
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公开(公告)号：CN118043931A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202280066480.4
申请日：2022-08-29
Applicant: ICT半导体集成电路测试有限公司
IPC: H01J37/153 , H01J37/28
Abstract: 描述了一种确定带电粒子束系统中由聚焦透镜(120)朝向样本(10)聚焦的带电粒子束(11)的像差的方法。方法包括：(a)以一个或多个散焦设置拍摄样本的一个或多个图像以提供一个或多个拍摄图像(h1…N)；(b)基于射束像差系数集合(iC)和样本的聚焦图像，对以一个或多个散焦设置拍摄的样本的一个或多个图像进行仿真，以提供一个或多个仿真图像；(c)将一个或多个拍摄图像与一个或多个仿真图像进行比较，以确定两者之间的差异的大小(Ri)；以及(d)变化射束像差系数集合(iC)以提供更新的射束像差系数集合(i+1C)，并在迭代过程中使用更新的射束像差系数集合(i+1C)重复(b)和(c)，以最小化所述大小(Ri)。或者，在(b)中，可以仿真一个或多个射束横截面，并且在(c)中，可以将仿真射束横截面与从一个或多个拍摄图像检取的一个或多个检取射束横截面进行比较，以确定两者之间的差异的大小(Ri)。进一步地，提供了用于对样本进行成像和/或检验的、被配置为用于任何这样的方法的带电粒子束系统。
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公开(公告)号：CN117981040B
公开(公告)日：2024-12-10
申请号：CN202280064053.2
申请日：2022-08-29
Applicant: ICT半导体集成电路测试有限公司
Abstract: 提供一种确定通过聚焦透镜(120)朝向带电粒子束系统(100)中的样本(10)聚焦的带电粒子束(11)的束汇聚度的方法。所述方法包括：(a)当样本布置在与带电粒子束的相应射束焦点相距一个或多个散焦距离处时，获取样本的一个或多个图像；(b)从一个或多个图像检取一个或多个射束横截面；(c)从一个或多个射束横截面确定一个或多个射束宽度；以及(d)基于一个或多个射束宽度和一个或多个散焦距离计算至少一个束汇聚度值。另外，提供一种用于对样本进行成像和/或检查的带电粒子束系统，所述带电粒子束系统经配置用于本文所述方法中的任一者。
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