公开(公告)号：DE102018207319B4

公开(公告)日：2022-08-25

申请号：DE102018207319

申请日：2018-05-09

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： HAINISCH REINHARD ,  GRILLE THOMAS

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  G01K5/48 ,  G12B1/00

Abstract: MEMS-Struktur mit folgenden Merkmalen:einem Einrastelement (18, 118);einem ersten Hebel (14, 114, 154), der ausgelegt ist, um sich bei einer Änderung eines Parameters in einer ersten Richtung durch Verbiegung an dem Einrastelement (18, 118) vorbei zu bewegen und an dem Einrastelement (18, 118) einzurasten, wenn nachfolgend eine Änderung des Parameters in einer zweiten von der ersten Richtung unterschiedlichen Richtung stattfindet; undeinem zweiten Hebel (16, 116, 156), der ausgelegt ist, um sich bei der Änderung des Parameters in der zweiten Richtung durch Verbiegung an dem ersten Hebel (14, 114, 154) vorbei zu bewegen und an dem ersten Hebel (14, 114, 154) einzurasten, wenn nach der Änderung des Parameters in der zweiten Richtung eine Änderung des Parameters in der ersten Richtung stattfindet.

公开(公告)号：DE102018207319A1

公开(公告)日：2019-11-14

申请号：DE102018207319

申请日：2018-05-09

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： HAINISCH REINHARD ,  GRILLE THOMAS

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  G01K5/48 ,  G12B1/00

Abstract: Eine MEMS-Struktur weist ein Einrastelement, einen ersten Hebel und einen zweiten Hebel auf. Der erste Hebel ist ausgelegt, um sich bei einer Änderung eines Parameters in einer ersten Richtung durch Verbiegung an dem Einrastelement vorbei zu bewegen und an dem Einrastelement einzurasten, wenn nachfolgend eine Änderung des Parameters in einer zweiten von der ersten Richtung unterschiedlichen Richtung stattfindet. Der zweite Hebel ist ausgelegt, um sich bei der Änderung des Parameters in der zweiten Richtung durch Verbiegung an dem ersten Hebel vorbei zu bewegen und an dem ersten Hebel einzurasten, wenn nach der Änderung des Parameters in der zweiten Richtung eine Änderung des Parameters in der ersten Richtung stattfindet.