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公开(公告)号：DE102020204316A1
公开(公告)日：2020-10-22
申请号：DE102020204316
申请日：2020-04-02
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DRUML NORBERT , GREINER PHILIPP , KIRILLOV BORIS , MAKSYMOVA IEVGENIIA , SLADKOV MAKSYM , VAN LIEROP HENDRIKUS
Abstract: Ein Mehrspiegelsystem umfasst einen ersten Spiegel, der dazu konfiguriert ist, um eine erste Achse zu oszillieren, einen zweiten Spiegel, der dazu konfiguriert ist, um eine zweite Achse zu oszillieren, einen ersten Treiber, der dazu konfiguriert ist, eine Oszillation des ersten Spiegels anzutreiben, erste Nulldurchgangsereignisse des ersten Spiegels zu erfassen und basierend auf den erfassten ersten Nulldurchgangsereignissen, bei denen ein Oszillationswinkel des ersten Spiegels in einem vordefinierten Winkel ist, ein erstes Positionssignal zu erzeugen, einen zweiten Treiber, der dazu konfiguriert ist, eine Oszillation des zweiten Spiegels anzutreiben, zweite Nulldurchgangsereignisse des zweiten Spiegels zu erfassen und basierend auf den erfassten zweiten Nulldurchgangsereignissen, bei denen ein Oszillationswinkel des zweiten Spiegels in dem vordefinierten Winkel ist, ein zweites Positionssignal zu erzeugen und eine Synchronisationssteuerung, die dazu konfiguriert ist, das erste Positionssignal und das zweite Positionssignal zu empfangen, und basierend auf dem ersten Positionssignal und dem zweiten Positionssignal zumindest entweder eine Phase oder eine Frequenz der Oszillation des zweiten Spiegels mit zumindest entweder einer Phase beziehungsweise einer Frequenz der Oszillation des ersten Spiegels zu synchronisieren.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：DE102019130645B4
公开(公告)日：2025-01-30
申请号：DE102019130645
申请日：2019-11-13
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DRUML NORBERT , GREINER PHILIPP , MAKSYMOVA IEVGENIIA
Abstract: Ein System, umfassend:einen mikroelektromechanischen-Systeme- (MEMS)- Spiegel (215); undeine MEMS-Treiberschaltung (220) zum:Erhalten einer Mehrzahl von Elementen von Überwachungsinformationen, die dem MEMS-Spiegel (215) zugeordnet sind, wobei die Mehrzahl von Elementen von Überwachungsinformationen zumindest eines umfasst von:Sensorinformationen, die von einem oder mehreren Sensoren (315) empfangen werden, die dem MEMS-Spiegel (215) zugeordnet sind, oderBetriebsinformationen, die von einer Steuerung (245) empfangen werden, die dem System (200) zugeordnet ist;Bestimmen eines Zustands des MEMS-Spiegels (215) basierend auf der Mehrzahl von Elementen von Überwachungsinformationen; undAnpassen eines Spiegelsteuerparameters, der dem Steuern des MEMS-Spiegels (215) zugeordnet ist, basierend auf dem Zustand des MEMS-Spiegels (215), wobei die Sensorinformationen Informationen umfassen, die zumindest einem zugeordnet sind von:einer Temperatur an oder nahe dem MEMS-Spiegel (215) (315-1);einem Betrag der Beschleunigung an oder nahe dem MEMS-Spiegel (215) (315-2);einem Betrag der elektromagnetischen Interferenz (EMI) an oder nahe dem MEMS-Spiegel (215) (315-3);einem Betrag des Drucks an oder nahe dem MEMS-Spiegel (215);einer Schwingung oder einem Schock, erfahren durch den MEMS-Spiegel (215);einem Strom, der dem Treiben des MEMS-Spiegels (215) oder dem Erhalten einer Positionsbedingung des MEMS-Spiegels (215) zugeordnet ist;einem Alterungseffekt, der durch den MEMS-Spiegel (215) erfahren wird (315-4);einer elektrischen Entladung in dem MEMS-Spiegel (215) (315-5);einer Detektion eines Fehlers, der dem MEMS-Spiegel (215) zugeordnet ist (315-6); odereinem Vorhandensein von Harmonischen in dem MEMS-Spiegel (215) (315-7).
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公开(公告)号：DE102019130645A1
公开(公告)日：2020-05-20
申请号：DE102019130645
申请日：2019-11-13
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DRUML NORBERT , GREINER PHILIPP , MAKSYMOVA IEVGENIIA
Abstract: Ein System kann einen mikroelektromechanische-Systeme- (MEMS-) Spiegel und eine MEMS-Treiberschaltung umfassen. Die MEMS-Treiberschaltung kann eine Mehrzahl von Elementen von Überwachungsinformationen, die dem MEMS-Spiegel zugeordnet sind, erhalten. Die Mehrzahl von Elementen von Überwachungsinformationen kann zumindest eines umfassen von Sensorinformationen, die von einem oder mehreren Sensoren empfangen werden, die dem MEMS-Spiegel zugeordnet sind, oder Betriebsinformationen, die von einer Steuerung empfangen werden, die dem System zugeordnet ist. Die MEMS-Treiberschaltung kann einen Zustand des MEMS-Spiegels basierend auf der Mehrzahl von Elementen von Überwachungsinformationen bestimmen. Die MEMS-Treiberschaltung kann einen Spiegelsteuerparameter, der dem Steuern des MEMS-Spiegels zugeordnet ist, basierend auf dem Zustand des MEMS-Spiegels anpassen.
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公开(公告)号：DE102019118244A1
公开(公告)日：2020-01-09
申请号：DE102019118244
申请日：2019-07-05
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DRUML NORBERT , GREINER PHILIPP , MAKSYMOVA IEVGENIIA
Abstract: Es werden Systeme und Verfahren zum Kompensieren von Fehlern bereitgestellt. Ein System umfasst eine oszillierende Struktur eines mikroelektromechanischen Systems (MEMS), die ausgebildet ist, um um eine Rotationsachse zu oszillieren; einen Phasenfehlerdetektor, der ausgebildet ist, um ein Phasenfehlersignal zu erzeugen, basierend auf gemessenen Ereigniszeiten und erwarteten Ereigniszeiten der oszillierenden MEMS-Struktur, die um die Rotationsachse oszilliert; und eine Kompensationsschaltung, die ausgebildet ist, um das Phasenfehlersignal zu empfangen, periodische Jitterkomponenten in dem Phasenfehlersignal zu entfernen, um ein kompensiertes Phasenfehlersignal zu erzeugen und das kompensierte Phasenfehlersignal auszugeben.
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公开(公告)号：DE102019118244B4
公开(公告)日：2022-09-29
申请号：DE102019118244
申请日：2019-07-05
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DRUML NORBERT , GREINER PHILIPP , MAKSYMOVA IEVGENIIA
Abstract: Ein System (200), umfassend:eine oszillierende Struktur (12) eines mikroelektromechanischen Systems (MEMS), die ausgebildet ist, um um eine Rotationsachse (13) zu oszillieren;einen Phasenfehlerdetektor (32), der ausgebildet ist, um ein Phasenfehlersignal zu erzeugen, basierend auf gemessenen Ereigniszeiten und erwarteten Ereigniszeiten der oszillierenden MEMS-Struktur (12), die um die Rotationsachse (13) oszilliert; undeine Kompensationsschaltung (33), die ausgebildet ist, um das Phasenfehlersignal zu empfangen, periodische Jitterkomponenten (41; 42) im Phasenfehlersignal zu entfernen, um ein kompensiertes Phasenfehlersignal zu erzeugen und das kompensierte Phasenfehlersignal auszugeben.
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公开(公告)号：DE102021203920A1
公开(公告)日：2021-10-28
申请号：DE102021203920
申请日：2021-04-20
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DRUML NORBERT , GREINER PHILIPP , HOFER HERMANN , MAKSYMOVA IEVGENIIA
Abstract: Ein Oszillatorsteuersystem, das Folgendes umfasst: eine Oszillatorstruktur; einen Phasenfehierdetektor, der dazu konfiguriert ist, ein Phasenfehlersignal auf der Basis eines verzögerten Ereigniszeitsignals und eines verzögerten Referenzsignals zu erzeugen; einen Analogsignalpfad, der zwischen die Oszillatorstruktur und den Phasenfehlerdetektor gekoppelt ist, wobei der Analogsignalpfad dazu konfiguriert ist, ein Ereigniszeitsignal zu empfangen und das verzögerte Ereigniszeitsignal zu produzieren; eine Steuerschaltung, die dazu konfiguriert ist, ein Referenzsignal zu erzeugen; eine Programmierbare-Verzögerung-Schaltung die dazu konfiguriert ist, das Referenzsignal zu empfangen und eine programmierbare Verzögerung an dem Referenzsignal hervorzurufen, wodurch das verzögerte Referenzsignal erzeugt wird; und eine Analoge-Verzögerung-Messschaltung, die dazu konfiguriert ist, ein Testsignal in den Analogsignalpfad einzubringen, ein verzögertes Testsignal aus dem Analogsignalpfad zu empfangen, eine analoge Verzögerung auf der Basis des verzögerten Testsignals zu messen, und ein Konfigurationssignal zu erzeugen, das dazu konfiguriert ist, die programmierbare Verzögerung gemäß der gemessenen analogen Verzögerung einzustellen.
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