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公开(公告)号:CN100561193C
公开(公告)日:2009-11-18
申请号:CN200610109159.2
申请日:2006-08-03
Applicant: IR微系统股份有限公司
CPC classification number: G01N21/39 , G01J3/433 , G01N21/3504 , G01N2201/0691
Abstract: 气体检测器装置包括至少一个VCSEL源和至少一个光传感器,用于检测已通过包括要被检测的给定气体的样品室的光束。将传感器的检测信号直接供给电子微分器,或由电子微分器进行时间求导,并然后被供给相应的锁定放大器,以便产生两个不同的2f-检测,f是源的波长调制的频率,并因此提供两个相应的测量信号,这两个测量信号相除给出气体浓度的精确值。本发明至少利用频率均为激光源的调制频率的两倍的第一调制参考信号和第二调制参考信号。与现有技术相比,提供至少第一2f调制参考信号是有利的,因为通过使用这种调制参考信号能测量绝对强度并因此在激光的不同温度处或模式跳跃处接收相同结果。另一优点是,测量精确度与气体浓度无关。
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公开(公告)号:CN101063655A
公开(公告)日:2007-10-31
申请号:CN200710105369.9
申请日:2007-04-26
Applicant: IR微系统股份有限公司
CPC classification number: G01N21/3504 , G01N21/39
Abstract: 气体检测装置中的标准具(etalon)抑制方法,在无气体的情况下在校正步骤期间根据DC驱动电流确定标准具条纹周期。测量信号是气体吸收的函数,基本上独立于初始频率为(f)的初始光信号的强度调制,通过如下方式产生该测量信号:确定在气体吸收峰值的中心操作激光源时的第一预测量信号,由被测气体的气体吸收峰值之下的DC驱动电流操作激光源时的第二预测量信号,及由所述气体吸收峰值之上的DC驱动电流操作激光源时的第三预测量信号,DC驱动电流间的差对应于先前校正步骤中确定的标准具条纹周期。将最后测量信号确定为第一预测量信号与第二预测量信号和第三预测量信号的算术平均间的差。这种标准具条纹的抑制允许气体检测器中的参考通道的真正简化,该气体检测器无需在调制频率(f)或两倍调制频率(2f)上分析检测器信号的分离的同步通道。
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公开(公告)号:CN1849507A
公开(公告)日:2006-10-18
申请号:CN200480026028.7
申请日:2004-07-30
Applicant: IR微系统股份有限公司
CPC classification number: G01N21/3504 , G01N21/39 , G01N2021/3133 , G01N2021/3185 , G01N2021/399 , G01N2201/0691
Abstract: 气体检测器设备包括至少一VCSEL源(34,36)和至少一光传感器(54,56),该光传感器用于检测经过含有待检测的特定气体的样品室(48)之后的光束(50,52)。在第一实施例中该传感器为光电二极管,其检测信号被电子求导设备(64)对时间求导并随后被提供给两个锁定放大器(84、86)以产生F检测和2F检测,其中F为源的波长调制频率,并因此提供两个相应的测量信号,这两个测量信号相除给出了该气体浓度的精确值。在第二实施例中,该源为热释传感器,该传感器直接提供和入射到该传感器上的光束的时间导数成比例的检测信号。这样在最后一种情形中可以省略电子求导设备。
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公开(公告)号:CN100559160C
公开(公告)日:2009-11-11
申请号:CN200480026028.7
申请日:2004-07-30
Applicant: IR微系统股份有限公司
CPC classification number: G01N21/3504 , G01N21/39 , G01N2021/3133 , G01N2021/3185 , G01N2021/399 , G01N2201/0691
Abstract: 气体检测器设备包括至少一VCSEL源(34,36)和至少一光传感器(54,56),该光传感器用于检测经过含有待检测的特定气体的样品室(48)之后的光束(50,52)。在第一实施例中该传感器为光电二极管,其检测信号被电子求导设备(64)对时间求导并随后被提供给两个锁定放大器(84、86)以产生F检测和2F检测,其中F为源的波长调制频率,并因此提供两个相应的测量信号,这两个测量信号相除给出了该气体浓度的精确值。在第二实施例中,该源为热释传感器,该传感器直接提供和入射到该传感器上的光束的时间导数成比例的检测信号。这样在最后一种情形中可以省略电子求导设备。
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公开(公告)号:CN101358918A
公开(公告)日:2009-02-04
申请号:CN200810214782.3
申请日:2008-07-24
Applicant: IR微系统股份有限公司
IPC: G01N21/00
CPC classification number: G01N21/1702 , G01N21/274
Abstract: 本发明涉及基于石英增强的光声学的气体传感器,主要用于价格非常低廉的应用。根本的思想是用在音叉上产生的壁噪音替代一般用于激光强度测量的光电二极管。这消除了光电二极管的成本。入射在音叉上的激光束产生的壁噪音与激光束的强度成比例。根据待测气体,可以通过仅使用一个音叉或将第二音叉优选设置在第一音叉后面,将壁噪音信号从气体浓度信号中分离出来。
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公开(公告)号:CN101251480A
公开(公告)日:2008-08-27
申请号:CN200810080596.5
申请日:2008-02-20
Applicant: IR微系统股份有限公司
CPC classification number: G01N21/1702 , G01N21/39 , G01N2021/1704 , G01N2021/399
Abstract: 本发明涉及组合的气体传感器装置,通过在一个壳体内的可调谐二极管激光器光谱测定和谐振光声而允许测量气体浓度。本发明的核心是将用于激光器光谱测定的激光光束传送越过测量单元的开口,该测量单元通常用于谐振光声确定。因此,两个测量原理均使用具有最小空间占用的相同的气体感测模块,使得装置可以用最小尺寸生产。而且,可以使用普通的光电子平台和电子平台,其减少了这种组合的气体传感器的综合成本。
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公开(公告)号:CN100595571C
公开(公告)日:2010-03-24
申请号:CN200710105369.9
申请日:2007-04-26
Applicant: IR微系统股份有限公司
CPC classification number: G01N21/3504 , G01N21/39
Abstract: 气体检测装置中的标准具(etalon)抑制方法,在无气体的情况下在校正步骤期间根据DC驱动电流确定标准具条纹周期。测量信号是气体吸收的函数,基本上独立于初始频率为(f)的初始光信号的强度调制,通过如下方式产生该测量信号:确定在气体吸收峰值的中心操作激光源时的第一预测量信号,由被测气体的气体吸收峰值之下的DC驱动电流操作激光源时的第二预测量信号,及由所述气体吸收峰值之上的DC驱动电流操作激光源时的第三预测量信号,DC驱动电流间的差对应于先前校正步骤中确定的标准具条纹周期。将最后测量信号确定为第一预测量信号与第二预测量信号和第三预测量信号的算术平均间的差。这种标准具条纹的抑制允许气体检测器中的参考通道的真正简化,该气体检测器无需在调制频率(f)或两倍调制频率(2f)上分析检测器信号的分离的同步通道。
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公开(公告)号:CN101153860A
公开(公告)日:2008-04-02
申请号:CN200710153107.X
申请日:2007-09-26
Applicant: IR微系统股份有限公司
CPC classification number: G01N21/1702
Abstract: 本发明提供一种使用具有激光源的光声近红外气体传感器的气体检测方法。这种气体传感器包括至少一个调幅激光源、接收要检测的气体的气室、连接到气室的麦克风、用于接收通过充有气体的气室的激光的光电探测器、包括为至少一个激光源提供调制信号的调频发生器的处理装置和用于确定气体浓度的控制装置。激光源对于在最小波长和最大波长之间的调幅的每个循环都会改变它的输出波长。测量方案的结果是,在每一调制循环期间,激光源扫描可用的全部的波长范围,因此目标气体的吸收特征会拉平到平均值。这个平均值对温度变化引起的激光中心波长的小的变化相对不敏感。
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公开(公告)号:CN1908624A
公开(公告)日:2007-02-07
申请号:CN200610109159.2
申请日:2006-08-03
Applicant: IR微系统股份有限公司
CPC classification number: G01N21/39 , G01J3/433 , G01N21/3504 , G01N2201/0691
Abstract: 气体检测器装置包括至少一个VCSEL源和至少一个光传感器,用于检测已通过包括要被检测的给定气体的样品室的光束。将传感器的检测信号直接供给电子微分器,或由电子微分器进行时间求导,并然后被供给相应的锁定放大器,以便产生两个不同的2f-检测,f是源的波长调制的频率,并因此提供两个相应的测量信号,这两个测量信号相除给出气体浓度的精确值。本发明至少利用频率均为激光源的调制频率的两倍的第一调制参考信号和第二调制参考信号。与现有技术相比,提供至少第一2f调制参考信号是有利的,因为通过使用这种调制参考信号能测量绝对强度并因此在激光的不同温度处或模式跳跃处接收相同结果。另一优点是,测量精确度与气体浓度无关。
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公开(公告)号:CN1513213A
公开(公告)日:2004-07-14
申请号:CN01823336.8
申请日:2001-06-08
Applicant: IR微系统股份有限公司
CPC classification number: H01L27/16
Abstract: 一种红外传感器(2),包括多个具有红外光结构的吸收层(20)的像素(12),该结构层处于传感器的上表面上。根据本发明,吸收层(20)是由胶质微粒形成的,尤其是浸入或凝结在粘结剂中的石墨小薄片或金属氧化物。设计形成结构层要同时利用常规技术沉积含有胶质微粒的分散体吸收层,然后再局部去除如此形成的吸收层,以便获得多个基本吸收区,这些吸收区分别与多个像素连接。
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