公开(公告)号：JPS598351A

公开(公告)日：1984-01-17

申请号：JP6850083

申请日：1983-04-20

Applicant: Ibm

Inventor： RINDA MERO EPURASU ,  BUIKUTAA JIYOSEFU SHIRUBESUTOR ,  DENII DEYUANNRII TANGU

IPC: H01L21/76 ,  H01L21/20 ,  H01L21/74 ,  H01L21/763

CPC classification number: H01L21/763 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02639 ,  H01L21/743

公开(公告)号：JPS5734365A

公开(公告)日：1982-02-24

申请号：JP8977181

申请日：1981-06-12

Applicant: Ibm

Inventor： AANORUDO RAIZUMAN ,  BIKUTAA JIYOSEFU SHIRUBESUTORI ,  DENII DEYUANNRII TANGU ,  JIIKUFURIEDO KURUTO BIIDOMAN ,  UWA NIEN YU

IPC: H01L29/73 ,  H01L21/20 ,  H01L21/331 ,  H01L21/74 ,  H01L21/762 ,  H01L21/8226 ,  H01L27/082 ,  H01L29/423

CPC classification number: H01L21/76248 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02639 ,  H01L21/743 ,  H01L27/0821 ,  H01L29/42304

公开(公告)号：JPS587840A

公开(公告)日：1983-01-17

申请号：JP6484882

申请日：1982-04-20

Applicant: IBM

Inventor： RANDOORU DEYUAN AIZATSUKU ,  TATSUKU HIYUNGU NINGU ,  DENII DEYUANNRII TANGU

IPC: H01L27/10 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/331 ,  H01L21/74 ,  H01L21/76 ,  H01L21/762 ,  H01L21/8242 ,  H01L23/52 ,  H01L23/535 ,  H01L27/108 ,  H01L29/06 ,  H01L29/73