公开(公告)号：JP6311703B2

公开(公告)日：2018-04-18

申请号：JP2015508390

申请日：2014-03-19

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 中藤 慎也 ,  豊川 郁宏 ,  若松 剛史 ,  滝本 嘉夫 ,  溝口 勝久 ,  岡田 敬 ,  宇野 高明 ,  遠藤 剛 ,  森次 正樹

IPC: C08G65/40 ,  C08L71/08 ,  C07C255/54 ,  G03F7/11

CPC classification number: G03F7/11 ,  C07C255/54 ,  C07D493/10 ,  C08G65/38 ,  C08G65/40 ,  C09D171/00 ,  C09D171/10 ,  G03F7/094 ,  G03F7/16 ,  G03F7/36 ,  H01L21/02118