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公开(公告)号：KR20180025321A
公开(公告)日：2018-03-08
申请号：KR20187005867
申请日：2016-05-27
Applicant: KLA TENCOR CORP
Inventor： RAMACHANDRAN VIJAYAKUMAR , SANAPALA RAVIKUMAR , ANANTHA VIDYASAGAR , MEASOR PHILLIP , MANEPALLI RAJESH
IPC: H01L21/66
Abstract: 결함검사시스템은검사서브시스템및 검출기에통신가능하게커플링되는컨트롤러를포함한다. 검사서브시스템은조명의빔을생성하도록구성되는조명소스, 조명의빔을샘플로지향시키기위한조명광학장치의세트, 및샘플로부터방출되는조명을수집하도록구성되는검출기를포함한다. 컨트롤러는메모리디바이스및 프로그램명령어를실행하도록구성되는하나이상의프로세서를포함한다. 상기컨트롤러는, 샘플상의하나이상의피쳐에대응하는하나이상의타겟패턴을결정하도록, 컨트롤러의메모리디바이스내에저장되는샘플의설계데이터및 하나이상의타겟패턴에기초하여샘플상에하나이상의관리영역을정의하도록, 그리고검출기에의해수집되는조명에기초하여샘플의하나이상의관리영역내에서하나이상의결함을식별하도록구성된다.
Abstract translation: 缺陷检查系统包括通信地耦合到检查子系统和检测器的控制器。 检查子系统包括被配置为产生照明光束的照明源，用于将照明光束引导到样本的一组照明光学器件以及被配置为收集从样本发射的照明的检测器。 控制器包括被配置为执行存储器设备和程序指令的一个或多个处理器。 其中，所述控制器，以便在样品上根据样本设计数据和要被存储在至少一个目标图案限定一个或多个管理区，所述控制器的存储器设备来确定对应于一个或多个特征在样品的至少一个目标图形， 并且基于由检测器收集的照明来识别样本的一个或多个管理区域内的一个或多个缺陷。
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公开(公告)号：DE112014000367T5
公开(公告)日：2015-10-08
申请号：DE112014000367
申请日：2014-01-06
Applicant: KLA TENCOR CORP
Inventor： RAMACHANDRAN VIJAYAKUMAR
Abstract: Systeme und Verfahren zur Bestimmung einer Position einer Ausgabe eines Inspektionssystems im Designdaten-Raum werden bereitgestellt. Ein Verfahren beinhaltet, mehr als ein Merkmal in den Designdaten für einen Wafer zu einem einzigen Merkmal zusammenzufassen, welches einen Rand aufweist, der alle Merkmale, die zusammengefasst werden, einschließt. Das Verfahren beinhaltet auch, Information für das einzige Merkmal ohne die Designdaten für die Merkmale, die zusammengefasst werden, abzuspeichern. Die Information beinhaltet eine Position des einzigen Merkmals im Designdaten-Raum. Das Verfahren beinhaltet weiter, eine Ausgabe eines Inspektionssystems für den Wafer an der Information für das einzige Merkmal auszurichten, so dass Positionen der Ausgabe im Designdaten-Raum auf Grundlage der Designdaten-Raum-Position des einzigen Merkmals bestimmt werden können.
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公开(公告)号：SG11201703581XA
公开(公告)日：2017-06-29
申请号：SG11201703581X
申请日：2015-11-23
Applicant: KLA TENCOR CORP
Inventor： KARSENTI LAURENT , BHASKAR KRIS , WAGNER MARK , DUFFY BRIAN , RAMACHANDRAN VIJAYAKUMAR
Abstract: The invention discloses a method and system for displaying electronic information for an Online Dating Service. Information is received through a variety of means including electronic analysis of photographs and communications as well as direct questions posed to an individual. Once the information is received a profile describing the interest, personality traits and what traits the individual looks for in a companion is created. To prevent priming based on physical appearance the word cloud is displayed to other individuals prior to a photograph. The photograph can be revealed to the other individuals if they take affirmative action to view the photograph or after an arbitrary period of time such that the other individuals can be primed based on the information in the word cloud without losing the emotional investment in finding a companion.
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