公开(公告)号：DE112015004853T5

公开(公告)日：2017-07-13

申请号：DE112015004853

申请日：2015-10-27

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： SINHA HARSH ,  SPIVAK DMITRY ,  XU HUINA ,  XIAO HONG ,  BOTHRA ROHIT

IPC: G01N23/22 ,  G01N23/225

Abstract: Eine Ausführungsform betrifft ein Verfahren zum automatisierten Review von Defekten, die in einem fehlerbehafteten Die auf dem Zielsubstrat detektiert wurden. Das Verfahren beinhaltet: Durchführen eines automatisierten Reviews der Defekte unter Verwendung eines Sekundärelektronenmikroskops (SEM), um Elektronenstrahlbilder der Defekte zu erhalten; Durchführen einer automatisierten Klassifizierung der Defekte in Typen auf Grundlage der aus den Elektronenstrahlbildern bestimmten Defektmorphologie; Auswählen von Defekten eines bestimmten Typs für automatisierten energiedispersiven Röntgen-(EDX)-Review; und Durchführen des automatisierten EDX-Review für die Defekte des bestimmten Typs. Zusätzlich werden automatisierte Techniken offenbart, um eine genaue Referenz zu erhalten, um die Nützlichkeit der EDX-Ergebnisse zu verbessern. Ferner wird ein automatisiertes Verfahren zur Klassifizierung der Defekte auf Grundlage der EDX-Ergebnisse offenbart, welches ein finales Pareto liefert, das morphologische und elementare Information kombiniert. Weitere Ausführungsformen, Aspekte und Merkmale werden ebenso offenbart.

公开(公告)号：SG11201702727SA

公开(公告)日：2017-05-30

申请号：SG11201702727S

申请日：2015-10-27

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： SINHA HARSH ,  SPIVAK DMITRY ,  XU HUINA ,  XIAO HONG ,  BOTHRA ROHIT

IPC: G01N23/22 ,  G01N23/225

Abstract: One embodiment relates to a method for automated review of defects detected in a defective die on the target substrate. The method includes: performing an automated review of the defects using an secondary electron microscope (SEM) so as to obtain electron-beam images of the defects; performing an automated classification of the defects into types based on morphology of the defects as determined from the electron-beam images; selecting defects of a specific type for automated energy-dispersive x-ray (EDX) review; and performing the automated EDX review on the defects of the specific type. In addition, automated techniques are disclosed for obtaining an accurate reference so as to improve the usefulness of the EDX results. Furthermore, an automated method of classifying the defects based on the EDX results is disclosed which provides a final pareto that combines both morphological and elemental information. Other embodiments, aspects and features are also disclosed.